سینی ورق اپیتکسیال کاربید سیلیکون برای کوره اپیتکسیال نیمه هادی

شرح مختصر:

سینی ورق اپیتکسیال سیلیکون کاربید VET Energy محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد پایدار و قابل اعتماد در یک دوره طولانی طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت حرارتی فوق العاده خوب و یکنواختی حرارتی، خلوص بالا و مقاومت در برابر فرسایش است و آن را به راه حل مناسبی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می‌کند.


جزئیات محصول

برچسب‌های محصول

سلف‌های SiC1
سلف‌های SiC2

سینی ورق کاربید سیلیکون یک جزء کلیدی است که در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. ما از فناوری ثبت اختراع شده خود برای ساخت سینی ورق کاربید سیلیکون با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده می کنیم.

شرکت VET Energy تولیدکننده‌ی واقعی محصولات گرافیتی و کاربید سیلیکون سفارشی با پوشش‌های مختلف مانند SiC، Tac، کربن پیرولیتیک، کربن شیشه‌ای و غیره است و می‌تواند قطعات سفارشی متنوعی را برای صنعت نیمه‌هادی و فتوولتائیک تأمین کند. تیم فنی ما از برترین موسسات تحقیقاتی داخلی تشکیل شده است و می‌تواند راه‌حل‌های حرفه‌ای‌تری در زمینه‌ی مواد برای شما ارائه دهد.

ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌ای را برای ارائه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری و ثبت شده را توسعه داده‌ایم که می‌تواند پیوند بین پوشش و زیرلایه را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

ویژگی‌های محصولات ما:

۱. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد.
۲. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی
3. مقاومت عالی در برابر خوردگی: اسید، قلیا، نمک و مواد آلی.

۴. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
5. عمر طولانی تر و بادوام تر

بیماری‌های قلبی عروقی (CVD) SiC薄膜基本物理性能

خواص فیزیکی اولیه SiC به روش CVDپوشش

性质 / املاک

典型数值 / مقدار معمول

晶体结构 / ساختار کریستالی

فاز β FCC多晶,主要为(111 )取向

密度 / تراکم

۳.۲۱ گرم بر سانتی‌متر مکعب

硬度 / سختی

2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

晶粒大小 / اندازه دانه

2 تا 10 میکرومتر

纯度 / خلوص شیمیایی

۹۹.۹۹۹۹۵٪

热容 / ظرفیت گرمایی

۶۴۰ ژول · کیلوگرم-1·ک-1

升华温度 / دمای تصعید

۲۷۰۰ درجه سانتیگراد

抗弯强度 / استحکام خمشی

۴۱۵ مگاپاسکال RT چهار نقطه‌ای

杨氏模量 مدول یانگ

خم 4 نقطه‌ای با مقاومت Gpa 430، دمای 1300 درجه سانتیگراد

导热系数 / ترمالرسانایی

۳۰۰ وات بر متر مربع-1·ک-1

热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

۴.۵×۱۰-6K-1

۱

۲

با گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می‌کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس‌اپ!