Послужавник за епитаксијални листови од силициум карбид за полупроводничка епитаксијална печка

Краток опис:

VET Energy силициум карбиден епитаксијален лим-послужавник е високо-перформансен производ дизајниран да обезбеди конзистентни и сигурни перформанси во подолг временски период. Има супер добра отпорност на топлина и термичка униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на плочки.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Послужавникот за лимови од силициум карбид е клучна компонента што се користи во различни процеси на производство на полупроводници. Ние ја користиме нашата патентирана технологија за да го направиме послужавникот за лимови од силициум карбид со исклучително висока чистота, добра униформност на облогата и одличен век на траење, како и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.

VET Energy е вистински производител на графитни и силициум карбидни производи по нарачка со различни премази како SiC, Tac, пиролитски јаглерод, стаклен јаглерод итн., може да испорача разни делови по нарачка за полупроводничка и фотоволтаична индустрија. Нашиот технички тим е составен од врвни домашни истражувачки институции, кои можат да ви обезбедат попрофесионални материјални решенија.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу премазот и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Карактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока тврдост, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Тврдост	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на зрно	2~10μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Јангов модул	430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1