Silisiumkarbid epitaksialarkbrett for halvleder epitaksialovn

Kort beskrivelse:

VET Energy Silicon Carbide Epitaxial Sheet Tray er et høytytende produkt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Det har super god varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet og erosjonsmotstand, noe som gjør det til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


Produktdetaljer

Produktetiketter

SiC-induktorer1
SiC-induktorer2

Silisiumkarbidplatebrett er en nøkkelkomponent som brukes i ulike produksjonsprosesser for halvledere. Vi bruker vår patenterte teknologi for å lage silisiumkarbidplatebrett med ekstremt høy renhet, god beleggjevnhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstand og termisk stabilitet.

VET Energy er den ekte produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC, Tac, pyrolytisk karbon, glassaktig karbon osv., og kan levere en rekke tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien. Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer, og har utviklet en eksklusiv patentert teknologi som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsning.

Funksjoner ved produktene våre:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opptil 1700 ℃.
2. Høy renhet og termisk ensartethet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10 μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøyestyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

导热系数 / TermalKonduktivitet

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp online chat!