Bandeja de láminas epitaxiales de carburo de silicio para hornos epitaxiales de semiconductores

Descripción breve:

La bandeja de láminas epitaxiales de carburo de silicio de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.


Detalle del producto

Etiquetas de productos

Inductores de SiC1
Inductores de SiC2

La bandeja de láminas de carburo de silicio es un componente clave en diversos procesos de fabricación de semiconductores. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar la bandeja de láminas de carburo de silicio con una pureza extremadamente alta, una buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, además de una alta resistencia química y estabilidad térmica.

VET Energy es un fabricante líder de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos, como SiC, Tac, carbono pirolítico, carbono vítreo, etc., y suministra diversas piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. Nuestro equipo técnico, formado por destacados institutos de investigación nacionales, puede ofrecerle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.

Características de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica.
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.

4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

ECV SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 / Estructura cristalina

Fase β de FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10 μm

纯度 / Pureza química

99.99995%

热容 / Capacidad calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimación

2700℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT 4 puntos

杨氏模量 / Módulo de Young

430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / TermayoConductividad

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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2

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