Dulang Lembaran Epitaksi Silikon Karbida Untuk Relau Epitaksi Semikonduktor

Penerangan Ringkas:

Dulang Lembaran Epitaksi Silikon Karbida VET Energy ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan andal dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba dan keseragaman haba yang sangat baik, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Hantar emel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Dulang kepingan silikon karbida merupakan komponen utama yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor. Kami menggunakan teknologi berpaten kami untuk membuat dulang kepingan silikon karbida dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan jangka hayat yang sangat baik, serta rintangan kimia dan sifat kestabilan terma yang tinggi.

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan lapisan berbeza seperti SiC, Tac, karbon pirolitik, karbon berkaca, dan sebagainya, boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Pasukan teknikal kami datang daripada institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami sentiasa membangunkan proses canggih untuk menyediakan bahan yang lebih canggih, dan telah menghasilkan teknologi berpaten eksklusif yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada keterlepasan.

Ciri-ciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700℃.
2. Ketulenan tinggi dan keseragaman terma
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: reagen asid, alkali, garam dan organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Hartanah	典型数值 / Nilai Lazim
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Pemejalwapan	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt selekoh, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma (CTE)	4.5×10^-6K^-1