Kvarca Vafla Boatoestas ŝlosila portanta ilo en duonkonduktaĵa fabrikado, fotovoltaika ĉelproduktado kaj altnivela materiala esplorado kaj disvolviĝo, desegnita por stabila translokigo kaj poziciigado de vaflaĵoj en alttemperaturaj procezoj. Ĉi tiu produkto estas farita el ultra-alta pureca fandita silikoksido (SiO2), kun bonega temperaturrezisto, kemia stabileco kaj ultra-malaltaj metalpoluaj karakterizaĵoj, taŭga por difuza forno, oksidiga forno, PECVD/LPCVD kaj aliaj ekipaĵoj, vaste uzata en vaflaĵtegado, jona implantado, alttemperatura kalcinado kaj aliaj kernaj procezoj.
La Kernaj Avantaĝoj de la kvarca boato de VET Energy:
- Ultra-alta pureca materialo
Pureco ≥99.99%: Malpuraĵa enhavo (Na, K, Fe, ktp.) <5ppm, evitante poluadon de la obleto kaj garantiante la rendimenton de la ĉipo.
Malalta precipitaĵo kaj adsorbado: la surfaco estas superpolurita (Ra≤0.4μm) por redukti partiklan adheron kaj gasrestaĵon. - Alta temperaturstabileco
Temperaturlimo: Longtempa labortemperaturo de 1100℃, mallongtempa pinto de 1300℃, neniu deformiĝo, neniu kristala precipitaĵo.
Malalta termika ekspansia koeficiento (5.5x10⁻⁷/℃), bonega termika ŝokrezisto, adaptebla al rapida temperaturpliiĝo kaj malaltiĝo (ekz. RTP rapida kalcinado). - Preciza struktura dezajno
Fenda precizeco ±0.1mm: kongruante kun oblatoj de 2” ĝis 12”, interspaca homogeneca eraro <0.05mm, certigante, ke oblatoj ne havas delokiĝon.
Alta ŝarĝkapacito: Maksimuma ŝarĝo de 50 obletoj (kore de 12-colaj obletoj) en ununura ŝipeto, subtenante stabilan translokigon de maldikaj obletoj (≥100 µm). - Kemia inerteco
Kororezisto: Rezistema al acido (krom HF), alkalo kaj organika solventa korodo, kongrua kun CMP-purigprocezo.
Bonega gasa hermetikeco: Elflukvanto <5x10⁻¹⁵ Pa.m³/s, taŭga por vakuaj kaj protektaj gasaj medioj. - Longa vivo kaj prizorgeblo
Vivdaŭro ≥ 5000 cikloj (normalaj laborkondiĉoj), la surfaco povas esti plurfoje purigita kaj uzata, reduktante la totalan koston.
Modula dezajno: subtenas partan anstataŭigon (ekz. unuopan boatodenton), reduktante malfunkcitempon.
Ni ofertas kaj travideblajn kaj malsekajn surfacojn laŭ la bezonoj de la kliento:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd estas altteknologia entrepreno, kiu fokusiĝas al la produktado kaj vendado de altkvalitaj progresintaj materialoj. La materialoj kaj teknologioj inkluzivas grafiton, siliciokarbidon, ceramikaĵon, surfacajn traktadojn kiel SiC-tegaĵon, TaC-tegaĵon, vitrecan karbonan tegaĵon, pirolizan karbonan tegaĵon, ktp., kaj ĉi tiuj produktoj estas vaste uzataj en fotovoltaiko, duonkonduktaĵo, nova energio, metalurgio, ktp.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, kaj evoluigis plurajn patentitajn teknologiojn por certigi produktan rendimenton kaj kvaliton, kaj ankaŭ povas provizi al klientoj profesiajn materialajn solvojn.
