Silisiumkarbide-coated grafyt-susceptor foar LED-etsen

Koarte beskriuwing:

Silisiumkarbide susceptor foar LED-etsen (SiC-tray) is in spesjaal aksessoire foar djip silisiumetsen (ICP-etsmasine). Waferdrager, ek wol bekend as waferdrager, silisiumwaferdrager, ek wol bekend as pocketwafer. In soad brûkt yn semiconductor CVD en fakuümsputtering.


Produktdetail

Produktlabels

Silisiumkarbide-coated susceptor isa kaaikomponint brûkt yn ferskate healgeleiderproduksjeprosessen.Wy brûke ús patintearre technology om de mei silisiumkarbid bedekte susceptor te meitsjen meiekstreem hege suverens,goedbedekkinguniformiteiten in poerbêste tsjinstlibben, lykashege gemyske wjerstân en termyske stabiliteitseigenskippen.

VET Enerzjy is deechte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei CVD-coating,kin leverjeferskateoanpaste ûnderdielen foar de healgeleider- en fotovoltaïske yndustry. OUs technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen leverjefoar dy.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen,enhawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker en minder gefoelich foar loslitting meitsje kin.

Fskaaimerken fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700.
2. Hege suverens entermyske uniformiteit
3. Uitstekende korrosjebestriding: soer, alkali, sâlt en organyske reagentia.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere tsjinstlibben en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking

性质 / Eigendom

典型数值 / Typyske wearde

晶体结构 / Kristalstruktuer

FCC β-faze多晶,主要为(111)取向

密度 / Dichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hurdens

2500 维氏硬度(500g lading)

晶粒大小 / Nôtgrutte

2~10μm

纯度 / Gemyske suverens

99.99995%

热容 / Waarmtekapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaasjetemperatuer

2700 ℃

抗弯强度 / Bûgingssterkte

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃

导热系数 / TermalGeliedingsfermogen

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Wolkom jo graach om ús fabryk te besykjen, lit ús fierder prate!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!