Grafitni susceptor obložen silicijevim karbidom za LED jetkanje

Kratki opis:

Silicijev karbidni susceptor za LED nagrizanje (SiC pladanj) je poseban pribor za duboko nagrizanje silicija (ICP stroj za nagrizanje). Nosač pločice, također poznat kao nosač pločice, nosač silicijske pločice, također poznat kao džepna pločica. Široko se koristi u CVD-u poluvodiča i vakuumskom raspršivanju.


Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Susceptor obložen silicijevim karbidom jea ključkomponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluvodiča.Koristimo našu patentiranu tehnologiju za izradu susceptora obloženog silicijevim karbidom sizuzetno visoke čistoće,dobropremazivanjeujednačenosti izvrstan vijek trajanja, kao ivisoka kemijska otpornost i toplinska stabilnost.

VET Energija je thepravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicij-karbida s CVD premazom,može isporučitirazniPrilagođeni dijelovi za poluvodičku i fotonaponsku industriju. ONaš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može pružiti profesionalnija materijalna rješenja.za tebe.

Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale,irazvili su ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Fkarakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700.
2. Visoka čistoća itoplinska ujednačenost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Dulji vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizikalna svojstva CVD SiC-apremazivanje

性质 / Nekretnina

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustoća

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度(500g opterećenja)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10μm

纯度 / Kemijska čistoća

99,99995%

热容 / Toplinski kapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700℃

抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje

415 MPa RT 4-točkovni

杨氏模量 Youngov modul

430 Gpa savijanje od 4 pt, 1300℃

导热系数 / TermalProvodljivost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Toplinsko širenje (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdačno vas pozdravljamo u posjeti našoj tvornici, pa ćemo dalje razgovarati!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Prethodno:
  • Sljedeći:

  • Online chat putem WhatsAppa!