LED сийлбэрт зориулсан цахиурын карбид бүрсэн графит сусцептор

Товч тайлбар:

LED сийлбэрт зориулсан цахиурын карбидын сусцептор (SiC тавиур) нь гүн цахиур сийлбэрт зориулсан тусгай дагалдах хэрэгсэл юм (ICP сийлбэр машин). Вафер зөөгчийг мөн вафер зөөгч, цахиурын вафер зөөгчийг мөн халаасны вафер гэж нэрлэдэг. Хагас дамжуулагч CVD болон вакуум шүршихэд өргөн хэрэглэгддэг.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

Цахиурын карбид бүрсэн сусцептор ньa түлхүүрянз бүрийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ашигладаг бүрэлдэхүүн хэсэг.Бид патентлагдсан технологийг ашиглан цахиурын карбид бүрсэн сусепторыг хийдэгмаш өндөр цэвэршилттэй,сайнбүрэхнэгэн жигд байдалмөн маш сайн үйлчилгээний хугацаатай, мөн түүнчлэнхимийн өндөр эсэргүүцэл ба дулааны тогтвортой байдлын шинж чанар.

Мэргэжлийн боловсролын эрчим хүч нь ньCVD бүрээстэй захиалгат бал чулуу болон цахиурын карбидын бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч,нийлүүлж чаднаянз бүрийнхагас дамжуулагч болон фотоэлектрик үйлдвэрлэлийн зориулалттай захиалгат эд ангиуд. OТанай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадначамд зориулж.

Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангахын тулд дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж,мөнбүрхүүл болон суурь материалын хоорондох холбоог илүү нягтруулж, салгах магадлалыг бууруулдаг онцгой патентлагдсан технологийг боловсруулсан.

FМанай бүтээгдэхүүний онцлог шинж чанарууд:

1. 1700 хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл℃.
2. Өндөр цэвэршилт бадулааны жигд байдал
3. Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс болон органик урвалжууд.
4. Өндөр хатуулаг, авсаархан гадаргуу, нарийн ширхэгтэй.
5. Үйлчилгээний хугацаа урт, илүү бат бөх

Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягтрал	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ	2~10μm
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Ж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын хүч	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Янгийн модуль	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / ТермалЦахилгаан дамжуулах чанар	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE)	4.5×10^-6K^-1