Susceptor Grafit Dilapisi Silikon Karbida kanggo Etsa LED

Katrangan Cekak:

Susceptor silikon karbida kanggo etsa LED (tray SiC) minangka aksesoris khusus kanggo etsa silikon jero (mesin etsa ICP). pembawa wafer, uga dikenal minangka pembawa wafer, pembawa wafer silikon, uga dikenal minangka wafer saku. Digunakake sacara wiyar ing CVD semikonduktor lan sputtering vakum.

 


Rincian Produk

Tag Produk

Susceptor sing dilapisi silikon karbida yaikua kuncikomponen sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor.Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe susceptor sing dilapisi silikon karbida kanthikemurnian sing dhuwur banget,apiklapisankeseragamanlan umur layanan sing apik banget, ugatahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.

Energi VET yaiku ingProdusen nyata produk grafit lan silikon karbida khusus nganggo lapisan CVD,bisa nyedhiyakakemacem-macembagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik. OTim teknis sampeyan asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesionalkanggo kowé.

Kita terus ngembangake proses canggih kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih canggih,lanwis nggarap teknologi sing dipatenake eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan substrat luwih kenceng lan ora gampang copot.

FFitur-fitur produk kita:

1. Tahan oksidasi suhu dhuwur nganti 1700.
2. Kemurnian dhuwur lankeseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik banget: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. Kekerasan dhuwur, permukaan kompak, partikel alus.
5. Umur layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2 ~ 10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Young

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / TermalKonduktivitas

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo padha rembugan luwih lanjut!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Obrolan Online WhatsApp!