Susceptor de grafit acoperit cu carbură de siliciu pentru gravare cu LED-uri

Scurtă descriere:

Susceptorul din carbură de siliciu pentru gravarea LED-urilor (tava SiC) este un accesoriu special pentru gravarea profundă a siliciului (mașină de gravare ICP). Purtător de napolitane, cunoscut și sub numele de purtător de napolitane, purtător de napolitane de siliciu, cunoscut și sub numele de napolitană de buzunar. Utilizat pe scară largă în CVD-ul semiconductorilor și pulverizarea în vid.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu estea cheiecomponentă utilizată în diverse procese de fabricație a semiconductorilor.Folosim tehnologia noastră patentată pentru a fabrica susceptorul acoperit cu carbură de siliciupuritate extrem de ridicată,bunacoperireuniformitateși o durată de viață excelentă, precum șiproprietăți ridicate de rezistență chimică și stabilitate termică.

Energia VET este cel/cea/cei/celeproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizadiversePiese personalizate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică. OEchipa noastră tehnică provine de la instituții de cercetare autohtone de top și poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale tot mai avansate,şiau elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face ca legătura dintre acoperire și substrat să fie mai strânsă și mai puțin predispusă la desprindere.

Fcaracteristici ale produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate ridicată, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

boli cardiovasculare (BCV) SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale SiC CVDacoperire
性质 / Proprietăți	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura cristalină	Faza β a FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Densitate	3,21 g/cm³
硬度 Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 Dimensiunea granulelor	2~10 μm
纯度 Puritate chimică	99,99995%
热容 Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistență la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 Modulul lui Young	Îndoire 4pt 430 Gpa, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Dilatare termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1