Siliciokarbido kovrita susceptoro estasa ŝlosilokomponanto uzata en diversaj procezoj de fabrikado de semikonduktaĵoj.Ni uzas nian patentitan teknologion por fabriki la silician karbido-kovritan susceptoron kunekstreme alta pureco,bonategaĵohomogenecokaj bonega servodaŭro, same kielalta kemia rezisto kaj termika stabileco.
VET Energio estas lavera fabrikanto de personecigitaj grafito- kaj siliciokarbido-produktoj kun CVD-tegaĵo,povas provizidiversajadaptitaj partoj por la duonkonduktaĵa kaj fotovoltaika industrio. Onia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojnpor vi.
Ni senĉese evoluigas progresintajn procezojn por provizi pli progresintajn materialojn,kajellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas igi la ligadon inter la tegaĵo kaj la substrato pli densa kaj malpli ema al disiĝo.
Ftrajtoj de niaj produktoj:
1. Rezisto al oksidiĝo al alta temperaturo ĝis 1700℃.
2. Alta pureco kajtermika homogeneco
3. Bonega korodrezisto: acido, alkalo, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa servodaŭro kaj pli daŭra
| KVM SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj ecoj de CVD SiCtegaĵo | |
| 性质 / Nemoveblaĵo | 典型数值 / Tipa Valoro |
| 晶体结构 / Kristala strukturo | FCC β fazo多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Denseco | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Malmoleco | 2500 维氏硬度（500g ŝarĝo） |
| 晶粒大小 / Grengrandeco | 2~10μm |
| 纯度 / Kemia Pureco | 99.99995% |
| 热容 / Varmokapacito | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimada Temperaturo | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Fleksa Forto | 415 MPa RT 4-punkta |
| 杨氏模量 / Modulo de Young | 430 Gpa 4pt kurbo, 1300℃ |
| 导热系数 / TermolKonduktiveco | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Termika Ekspansio (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni havu pluan diskuton!
