Susceptor Grafit Dilapis Silikon Karbida pikeun Étsa LED

Pedaran Singkat:

Susceptor silikon karbida pikeun etsa LED (baki SiC) nyaéta aksésoris khusus pikeun etsa silikon jero (mesin etsa ICP). wafer carrier, ogé katelah wafer carrier, silikon wafer carrier, ogé katelah pocket wafer. Loba dipaké dina semikonduktor CVD sareng vacuum sputtering.

 


Rincian Produk

Tag Produk

Susceptor anu dilapis silikon karbida nyaétaa koncikomponén anu dianggo dina rupa-rupa prosés manufaktur semikonduktor.Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngadamel susceptor anu dilapis silikon karbida kalayankamurnian anu luhur pisan,saépalapiskeseragamansareng umur layanan anu saé, sakumaha ogérésistansi kimiawi anu luhur sareng sipat stabilitas termal.

Énergi VET nyaéta étaprodusén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan lapisan CVD,tiasa nyayogikeunrupa-rupasuku cadang khusus pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik. OTim téknis anjeun asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésionalkanggo Anjeun.

Kami terus ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih,jeungparantos ngusahakeun téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.

Fciri-ciri produk kami:

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700.
2. Kamurnian anu luhur sarengkeseragaman termal
3. Résistansi korosi anu saé pisan: réagen asam, alkali, uyah sareng organik.
4. Karasa luhur, permukaan kompak, partikel anu lemes.
5. Umur layanan anu langkung lami sareng langkung awét

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2 ~ 10μm

纯度 / Kamurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Young

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / TermalKonduktivitas

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Wilujeng sumping ka pabrik kami, hayu urang diskusi salajengna!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Saméméhna:
  • Teras:

  • Obrolan Online WhatsApp!