벳차이나탄화규소 세라믹코팅은 매우 단단하고 내마모성이 뛰어난 소재로 만들어진 고성능 보호 코팅입니다.탄화규소(SiC)이 소재는 뛰어난 화학적 부식 저항성과 고온 안정성을 제공합니다. 이러한 특성은 반도체 생산에 매우 중요하므로,탄화규소 세라믹 코팅반도체 제조 장비의 핵심 부품에 널리 사용됩니다.
Vet-China의 구체적인 역할탄화규소 세라믹반도체 생산에서의 코팅 공정은 다음과 같습니다.
장비 내구성 향상:탄화규소 세라믹 코팅은 매우 높은 경도와 내마모성으로 반도체 제조 장비 표면을 탁월하게 보호합니다. 특히 화학 기상 증착(CVD) 및 플라즈마 에칭과 같은 고온 및 고부식성 공정 환경에서, 이 코팅은 장비 표면이 화학적 침식이나 물리적 마모로 손상되는 것을 효과적으로 방지하여 장비 수명을 크게 연장하고 잦은 교체 및 수리로 인한 가동 중단 시간을 줄여줍니다.
공정 순도 향상:반도체 제조 공정에서 미세한 오염물질은 제품 결함을 유발할 수 있습니다. 탄화규소 세라믹 코팅은 화학적으로 불활성이므로 극한 조건에서도 안정적으로 유지되어 입자나 불순물을 방출하지 않으므로 공정의 환경적 청결도를 보장합니다. 이는 PECVD 및 이온 주입과 같이 높은 정밀도와 청정도가 요구되는 제조 공정에 특히 중요합니다.
열 관리 최적화:급속 열처리(RTP) 및 산화 공정과 같은 고온 반도체 공정에서, 탄화규소 세라믹 코팅의 높은 열전도율은 장비 내부의 균일한 온도 분포를 가능하게 합니다. 이는 온도 변동으로 인한 열 응력 및 재료 변형을 줄여 제품 제조의 정확성과 일관성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
복잡한 프로세스 환경을 지원합니다.ICP 에칭 및 PSS 에칭 공정과 같이 복잡한 분위기 제어가 필요한 공정에서, 탄화규소 세라믹 코팅의 안정성과 산화 저항성은 장비가 장기간 작동 시에도 안정적인 성능을 유지하도록 보장하여 환경 변화로 인한 재료 열화 또는 장비 손상 위험을 줄여줍니다.
| 심혈관 질환 SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21 g/cm³ |
| 정도 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 곡물 크기 | 2~10μm |
| 정도 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
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