수의사-중국실리콘 카바이드 세라믹코팅은 매우 단단하고 내마모성이 뛰어난 고성능 보호 코팅입니다.탄화규소(SiC)우수한 내화학성과 고온 안정성을 제공하는 소재입니다. 이러한 특성은 반도체 생산에 매우 중요하므로실리콘 카바이드 세라믹 코팅반도체 제조 장비의 핵심 구성 요소에 널리 사용됩니다.
Vet-China의 구체적인 역할실리콘 카바이드 세라믹반도체 생산에서의 코팅은 다음과 같다.
장비 내구성 향상:탄화규소 세라믹 코팅 탄화규소 세라믹 코팅은 매우 높은 경도와 내마모성을 통해 반도체 제조 장비에 탁월한 표면 보호 기능을 제공합니다. 특히 화학 기상 증착(CVD) 및 플라즈마 에칭과 같은 고온 및 고부식성 공정 환경에서 이 코팅은 화학적 침식이나 물리적 마모로 인한 장비 표면 손상을 효과적으로 방지하여 장비 수명을 크게 연장하고 잦은 교체 및 수리로 인한 가동 중단 시간을 줄여줍니다.
공정 순도 개선:반도체 제조 공정에서는 미세한 오염 물질이 제품 결함을 유발할 수 있습니다. 실리콘 카바이드 세라믹 코팅의 화학적 불활성은 극한 조건에서도 안정성을 유지하여 재료에서 입자나 불순물이 방출되는 것을 방지하여 공정의 환경적 순도를 보장합니다. 이는 PECVD 및 이온 주입과 같이 높은 정밀도와 높은 청정도가 요구되는 제조 단계에서 특히 중요합니다.
열 관리 최적화:급속 열처리(RTP) 및 산화 공정과 같은 고온 반도체 공정에서 실리콘 카바이드 세라믹 코팅의 높은 열전도도는 장비 내부의 균일한 온도 분포를 가능하게 합니다. 이는 온도 변화로 인한 열응력과 재료 변형을 줄여 제품 제조 정확도와 일관성을 향상시킵니다.
복잡한 프로세스 환경 지원:ICP 에칭, PSS 에칭 공정 등 복잡한 분위기 제어가 필요한 공정에서 실리콘 카바이드 세라믹 코팅의 안정성과 산화 저항성은 장비가 장기 작동 시에도 안정적인 성능을 유지하도록 보장하여 환경 변화로 인한 재료 저하나 장비 손상의 위험을 줄여줍니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
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