പോറസ് ടാന്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് മോതിരം

പോറസ് ടാന്റലം കാർബൈഡ് പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് മോതിരം
പോറസ് ടാന്റലം കാർബൈഡ് (TaC) പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ്സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ ഉയർന്ന താപനിലയിലും, അത്യധികം നാശകാരിയായ അന്തരീക്ഷത്തിലും പ്രത്യേകം വികസിപ്പിച്ചെടുത്ത ഒരു പ്രധാന വസ്തുവാണ് ഇത്. ഇതിന്റെ അടിവസ്ത്രം ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് ഗ്രാഫൈറ്റ് ആണ്, കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) ഉപയോഗിച്ച് ഏകതാനമായി സുഷിരങ്ങളുള്ള ടാന്റലം കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗ് കൊണ്ട് പൊതിഞ്ഞതാണ്. TaC-ക്ക് വളരെ ഉയർന്ന കാഠിന്യവും (മോഹ്സ് സ്കെയിലിൽ 9-10) 3880°C ദ്രവണാങ്കവുമുണ്ട്. ഗ്രാഫൈറ്റിന്റെ മികച്ച താപ സ്ഥിരതയും ഭാരം കുറഞ്ഞ ഗുണങ്ങളും സംയോജിപ്പിച്ച്, ഈ മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും രാസ ആക്രമണത്തിനും താപ ആഘാതത്തിനുമുള്ള പ്രതിരോധവും സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് അങ്ങേയറ്റത്തെ സാഹചര്യങ്ങളിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്ന സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ തിരഞ്ഞെടുപ്പാക്കി മാറ്റുന്നു.

പോറസ് ടാന്റലം കാർബൈഡ് ഗ്രാഫൈറ്റിന്റെ ഗുണങ്ങൾ:
1. അൾട്രാ-ഹൈ കോറോഷൻ റെസിസ്റ്റൻസ്
-TaC രാസപരമായി നിർജ്ജീവമാണ്, ഫ്ലൂറിൻ, ക്ലോറിൻ തുടങ്ങിയ ഹാലോജനുകളിൽ നിന്നുള്ള നാശത്തെ ഫലപ്രദമായി പ്രതിരോധിക്കുന്നു, ഉപകരണങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
- സുഷിര ഘടന കോട്ടിംഗിന്റെ ഉപരിതല വിസ്തീർണ്ണം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും കൂടുതൽ ശക്തമായ ഒരു സംരക്ഷണ തടസ്സം സൃഷ്ടിക്കുകയും കണികകൾ ചൊരിയാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
2. മികച്ച ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത
-4000°C യോട് അടുക്കുന്ന ദ്രവണാങ്കത്തോടെ, 2500°C കവിയുന്ന വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ നിഷ്ക്രിയ അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഇതിന് കൂടുതൽ സമയം പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
- കോട്ടിംഗിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം ഗ്രാഫൈറ്റിന്റേതിന് സമാനമാണ്, ഇത് താപ ചക്രം മൂലമുണ്ടാകുന്ന വിള്ളലുകളും ഡീലാമിനേഷനും തടയുന്നു.
3. ഉയർന്ന ശുദ്ധതയും കുറഞ്ഞ മലിനീകരണവും
- സെമികണ്ടക്ടർ-ഗ്രേഡ് അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളും പ്രക്രിയകളും ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, ലോഹ മാലിന്യത്തിന്റെ അളവ് വളരെ കുറവാണ്, ഇത് വേഫർ മലിനീകരണ സാധ്യത ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു.
- ഉപരിതലം ഇടതൂർന്നതും രാസപരമായി സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണ്, കണിക ഉത്പാദനം കുറയ്ക്കുകയും കർശനമായ ക്ലീൻറൂം മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
4. ഇഷ്ടാനുസൃത ഡിസൈൻ
ഉപഭോക്തൃ ഡ്രോയിംഗുകൾക്കനുസരിച്ച് സങ്കീർണ്ണമായ ആകൃതികൾ നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ഒപ്റ്റിമൽ വാതക പ്രവാഹവും താപ ചാലകതയും കൈവരിക്കുന്നതിന് സുഷിരവും കോട്ടിംഗ് കനവും നിയന്ത്രിക്കാനും കഴിയും.
5. ദീർഘായുസ്സും കുറഞ്ഞ പരിപാലന ചെലവും
സുഷിരങ്ങളുള്ള TaC കോട്ടിംഗുകളുടെ വളരെ ഉയർന്ന നാശന പ്രതിരോധവും തേയ്മാന പ്രതിരോധവും പരമ്പരാഗത ഗ്രാഫൈറ്റിനെ അപേക്ഷിച്ച് ഘടക ആയുസ്സ് 3-5 മടങ്ങ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് മാറ്റിസ്ഥാപിക്കൽ ആവൃത്തിയും പരിപാലന ചെലവും കുറയ്ക്കുന്നു.

പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
1. വേഫർ നിർമ്മാണത്തിനുള്ള പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ
- CVD/ALD ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള റിയാക്ഷൻ ചേംബർ ലൈനറുകൾ, ബാഫിളുകൾ, ഷവർ-ഹെഡ്
- പിവിഡി ടാർഗെറ്റ് സപ്പോർട്ടുകൾ
- ഡിഫ്യൂഷൻ, ഓക്സീകരണം, അനീലിംഗ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയ്‌ക്കുള്ള ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയ ഘടകങ്ങൾ
2. കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപ സംവിധാനങ്ങൾ
- പ്രക്രിയയ്ക്കിടെ ഉയർന്ന തോതിൽ വിനാശകരമായ അന്തരീക്ഷത്തിൽ (ഫ്ലൂറൈഡുകൾ, ക്ലോറൈഡുകൾ പോലുള്ളവ) പ്രധാന ഘടകങ്ങളെ സംരക്ഷിക്കുന്നു.
3. മറ്റ് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള നശിപ്പിക്കുന്ന പരിതസ്ഥിതികൾ
- രാസ വാതക ശുദ്ധീകരണം, പ്രത്യേക ചൂട് ചികിത്സ ചൂളകൾ, മറ്റ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യം.