Graphite Wafer Boat para sa Deposisyon

Itinatampok na Larawan ng Graphite Wafer Boat para sa Deposition

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy graphite wafer boat ay isang de-kalidad na consumable na iniayon para sa mga proseso ng deposition sa semiconductor, photovoltaic at iba pang mga industriya. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan at mataas na densidad na materyal na graphite, ang produktong ito ay may mahusay na resistensya sa mataas na temperatura, kalawang, katatagan ng dimensional at iba pang mga katangian, at maaaring magbigay ng isang matatag na plataporma ng carrier para sa proseso ng deposition upang matiyak ang pagkakapareho at pagiging patag ng thin film deposition.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang PECVD graphite boat mula sa VET Energy ay gawa gamit ang high-purity isostatic graphite, na nagtatampok ng porosity na mas mababa sa 15% at surface roughness na Ra≤1.6μm. Tinitiyak ng superior dimensional stability at thermal conductivity ang pare-parehong film deposition at pinahusay na cell efficiency.

Materyal na grapayt mula sa SGL:

Karaniwang parametro: R6510
Indeks	Pamantayan sa Pagsubok	Halaga	Yunit
Karaniwang laki ng butil	ISO 13320	10	μm
Densidad ng bulk	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas na porosidad	DIN66133	10	%
Katamtamang laki ng butas	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatagusin	DIN 51935	0.06	cm²/s
Katigasan ng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Tiyak na resistivity ng kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lakas ng pagbaluktot	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Lakas ng kompresyon	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pagpapalawak ng init (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktibidad ng init (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ito ay partikular na idinisenyo para sa mataas na kahusayan sa paggawa ng solar cell, na sumusuporta sa pagproseso ng malalaking wafer ng G12. Ang na-optimize na disenyo ng carrier ay makabuluhang nagpapataas ng throughput, na nagbibigay-daan sa mas mataas na rate ng ani at mas mababang gastos sa produksyon.

Aytem	Uri	Tagadala ng wafer na may numero
Bangka na gawa sa PEVCD Grephite - Ang seryeng 156	156-13 bangkang grephite	144
	156-19 bangkang grephite	216
	156-21 bangkang grephite	240
	156-23 bangkang grapayt	308
Bangka na gawa sa PEVCD Grephite - Ang seryeng 125	125-15 na bangkang grephite	196
	125-19 na bangkang grephite	252
	125-21 bangkang graphite	280