Після того, яквафляпройшов попередній процес, підготовка чіпа завершена, і його потрібно розрізати, щоб відокремити чіпи на пластині, та, нарешті, упакувати.вафляПроцес різання, обраний для пластин різної товщини, також відрізняється:
▪Вафлітовщиною понад 100 мкм зазвичай ріжуться лезами;
▪Вафліз товщиною менше 100 мкм зазвичай ріжуться лазерами. Лазерне різання може зменшити проблеми відшаровування та розтріскування, але коли товщина перевищує 100 мкм, ефективність виробництва значно знижується;
▪Вафліпластини товщиною менше 30 мкм ріжуться плазмою. Плазмове різання відбувається швидко і не пошкоджує поверхню пластини, тим самим покращуючи вихід продукції, але його процес складніший;
Під час процесу різання пластини на неї заздалегідь наноситься плівка для забезпечення безпечнішого «розділення». Її основні функції полягають у наступному.
Закріпити та захистити пластину
Під час нарізання кубиками вафлю потрібно нарізати точно.Вафлізазвичай тонкі та крихкі. УФ-стрічка може міцно приклеїти пластину до каркаса або столика для пластин, щоб запобігти її зміщенню та трясіння під час процесу різання, забезпечуючи точність та правильність різання.
Це може забезпечити хороший фізичний захист пластини, уникнути пошкодженнявафляспричинені впливом зовнішніх сил та тертям, що можуть виникнути під час процесу різання, такими як тріщини, руйнування країв та інші дефекти, та захищають структуру чіпа та схему на поверхні пластини.
Зручна операція різання
УФ-стрічка має відповідну еластичність та гнучкість, і може помірно деформуватися, коли ріжуче лезо ріже, що робить процес різання більш плавним, зменшує негативний вплив опору різанню на лезо та пластину, а також допомагає покращити якість різання та термін служби леза. Характеристики її поверхні дозволяють сміттям, що утворюються під час різання, краще прилипати до стрічки, не розбризкуючись, що зручно для подальшого очищення зони різання, підтримує робоче середовище відносно чистим та запобігає забрудненню або перешкоджанню роботі пластини та іншого обладнання сміттям.
Легко впоратися пізніше
Після розрізання пластини в'язкість УФ-стрічки можна швидко зменшити або навіть повністю втратити, опромінюючи її ультрафіолетовим світлом певної довжини хвилі та інтенсивності, завдяки чому розрізаний чіп можна легко відокремити від стрічки, що зручно для подальшого пакування чіпа, тестування та інших технологічних процесів, а цей процес розділення має дуже низький ризик пошкодження чіпа.
Час публікації: 16 грудня 2024 р.