Lẹ́yìn náàwaferti la ilana iṣaaju kọja, igbaradi eerun naa ti pari, o si nilo lati ge lati ya awọn eerun naa kuro lori wafer naa, ati nikẹhin ti a fi sinu apo.waferilana gige ti a yan fun awọn wafers ti o yatọ si awọn sisanra tun yatọ:
▪Àwọn Wáfárìtí ó nípọn ju 100um lọ ni a sábà máa ń fi abẹ́ gé;
▪Àwọn WáfárìÀwọn tí ó nípọn tí kò tó 100um ni a sábà máa ń fi lésà gé. Gígé lésà lè dín ìṣòro bíbọ́ àti fífọ́ kù, ṣùgbọ́n nígbà tí ó bá ju 100um lọ, iṣẹ́ ṣíṣe rẹ̀ yóò dínkù gidigidi;
▪Àwọn Wáfárìtí ìwọ̀n rẹ̀ kò bá ju 30um lọ ni a fi plasma gé. Gígé plasma yára, kò sì ní ba ojú wafer jẹ́, èyí á sì mú kí èso rẹ̀ sunwọ̀n sí i, ṣùgbọ́n iṣẹ́ rẹ̀ túbọ̀ nira sí i;
Nígbà tí a bá ń gé fíìmù náà, a ó fi sí orí fíìmù náà kí ó tó di pé a ó fi “àkókò kan ṣoṣo” ṣe é. Àwọn iṣẹ́ pàtàkì rẹ̀ ni wọ̀nyí.
Ṣe àtúnṣe àti dáàbò bo wafer náà
Nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ gígé, ó yẹ kí a gé wafer náà dáadáa.Àwọn WáfárìWọ́n sábà máa ń tinrin tí wọ́n sì máa ń fọ́. Tẹ́ẹ̀pù UV lè so wàrà mọ́ férémù tàbí ìpele wàrà láti dènà wàrà náà láti má ṣe yí padà tàbí kí ó mì tìtì nígbà tí a bá ń gé e, èyí sì máa ń jẹ́ kí ó péye àti pé ó péye.
Ó lè pèsè ààbò ara tó dára fún wafer náà, kí ó má baà ba àwọn ohun èlò ìfọṣọ náà jẹ́wafertí ipa agbára òde àti ìforígbárí tí ó lè ṣẹlẹ̀ nígbà tí a bá ń gé e, bí ìfọ́, ìfọ́ etí àti àwọn àbùkù mìíràn, àti ààbò ìṣètò ërún àti ìyíká lórí ojú wafer náà.
Iṣẹ́ gige tó rọrùn
Tápù UV ní ìrọ̀rùn àti ìrọ̀rùn tó yẹ, ó sì lè yípadà díẹ̀díẹ̀ nígbà tí abẹ́ gígé bá gé, ó ń mú kí ilana gígé náà rọrùn, ó ń dín àwọn ipa búburú ti ìdènà gígé lórí abẹ́ àti wafer kù, ó sì ń ran lọ́wọ́ láti mú dídára gígé àti ìgbésí ayé iṣẹ́ abẹ́ náà sunwọ̀n sí i. Àwọn ànímọ́ ojú rẹ̀ ń jẹ́ kí àwọn ìdọ̀tí tí a ń rí láti inú gígé náà lẹ̀ mọ́ tápù náà dáadáa láìsí pé ó ń fọ́n káàkiri, èyí tí ó rọrùn fún mímọ́ agbègbè gígé lẹ́yìn náà, kí àyíká iṣẹ́ mọ́ tónítóní, àti kí ó yẹra fún àwọn ìdọ̀tí láti ba tàbí dí wafer àti àwọn ohun èlò míràn lọ́wọ́.
Ó rọrùn láti ṣe nígbà tó bá yá
Lẹ́yìn tí a bá ti gé wafer náà, a lè dín páálí UV náà kù kíákíá tàbí kí a tilẹ̀ sọnù pátápátá nípa fífi ìmọ́lẹ̀ ultraviolet tí ó ní ìwọ̀n ìgbì àti agbára pàtó kan hàn án, kí a lè ya páálí gé náà kúrò lára páálí náà ní ìrọ̀rùn, èyí tí ó rọrùn fún àpò ìdìpọ̀ páálí, ìdánwò àti àwọn ìṣàn iṣẹ́ mìíràn lẹ́yìn náà, àti pé ìlànà ìyàsọ́tọ̀ yìí ní ewu kékeré láti ba páálí náà jẹ́.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-16-2024


