Пасля таго, яквафляпрайшоў папярэдні працэс, падрыхтоўка чыпа завершана, і яго трэба разрэзаць, каб аддзяліць чыпы на пласціне, і, нарэшце, спакаваць.вафляПрацэс рэзкі, абраны для пласцін рознай таўшчыні, таксама адрозніваецца:
▪Вафлітаўшчынёй больш за 100 мкм звычайна рэжуць лязамі;
▪Вафлітаўшчыня менш за 100 мкм звычайна рэжацца лазерамі. Лазерная рэзка можа паменшыць праблемы адслойвання і расколін, але калі таўшчыня перавышае 100 мкм, эфектыўнасць вытворчасці значна зніжаецца;
▪Вафліпласціны таўшчынёй менш за 30 мкм разразаюцца плазмай. Плазменная рэзка хуткая і не пашкоджвае паверхню пласціны, тым самым павялічваючы выхад, але яе працэс больш складаны;
Падчас працэсу рэзкі пласціны на яе загадзя наносіцца плёнка для забеспячэння больш бяспечнага «раздзялення». Яе асноўныя функцыі наступныя.
Замацаваць і абараніць пласціну
Падчас нарэзкі вафлю неабходна акуратна нарэзаць.Вафлізвычайна тонкія і далікатныя. УФ-стужка можа трывала прыляпіць пласціну да рамы або падстаўкі для пласцін, каб прадухіліць яе зрушэнне і хістанне падчас працэсу рэзкі, забяспечваючы дакладнасць і акуратнасць рэзкі.
Гэта можа забяспечыць добрую фізічную абарону пласціны, пазбегнуць пашкоджаннявафлявыкліканыя ўздзеяннем знешніх сіл і трэннем, якія могуць узнікнуць падчас працэсу рэзкі, такія як расколіны, абвальванне краёў і іншыя дэфекты, і абараняюць структуру чыпа і схему на паверхні пласціны.
Зручная аперацыя рэзкі
УФ-стужка мае адпаведную эластычнасць і гнуткасць і можа ўмерана дэфармавацца пры разразанні рэжучым лязом, што робіць працэс разразання больш плаўным, памяншае негатыўны ўплыў супраціву разразанню на лязо і пласціну, а таксама дапамагае палепшыць якасць разразання і тэрмін службы ляза. Яе паверхневыя характарыстыкі дазваляюць смеццю, якое ўтвараецца пры разразанні, лепш прыліпаць да стужкі без разбрызгівання, што зручна для наступнай ачысткі зоны разразання, падтрымання адносна чысціні працоўнага асяроддзя і прадухілення забруджвання або ўздзеяння смецця на пласціну і іншае абсталяванне.
Лёгка справіцца пазней
Пасля разразання пласціны глейкасць УФ-стужкі можа быць хутка зніжана або нават цалкам страчана шляхам апраменьвання яе ультрафіялетавым святлом пэўнай даўжыні хвалі і інтэнсіўнасці, што дазваляе лёгка аддзяліць разрэзаны чып ад стужкі, што зручна для наступнай упакоўкі чыпа, тэставання і іншых працэсаў, і гэты працэс аддзялення мае вельмі нізкую рызыку пашкоджання чыпа.
Час публікацыі: 16 снежня 2024 г.