بعد ذلكرقاقةبعد إتمام العملية السابقة، يتم الانتهاء من تحضير الشريحة، ويجب قطعها لفصل الشرائح عن بعضها البعض، ثم تعبئتها أخيرًا.رقاقةتختلف أيضًا عملية القطع المختارة للرقائق ذات السماكات المختلفة:
▪رقائقمع سمك يزيد عن 100 ميكرومتر يتم قطعها عادة بالشفرات؛
▪رقائقعادةً ما تُقطع المواد التي يقل سمكها عن 100 ميكرومتر بالليزر. يُقلل القطع بالليزر من مشاكل التقشير والتشقق، ولكن عندما يتجاوز سمكها 100 ميكرومتر، تنخفض كفاءة الإنتاج بشكل كبير.
▪رقائقتُقطع الصفائح المعدنية التي يقل سمكها عن 30 ميكرومترًا بالبلازما. يتميز قطع البلازما بالسرعة وعدم إتلاف سطح الرقاقة، مما يُحسّن الإنتاجية، إلا أن عمليته أكثر تعقيدًا.
أثناء عملية قطع الرقاقة، يُوضع غشاء رقيق عليها مسبقًا لضمان عملية تقطيع أكثر أمانًا. وتتمثل وظائفه الرئيسية فيما يلي:
إصلاح وحماية الرقاقة
أثناء عملية التقطيع، يجب قطع الرقاقة بدقة.رقائقعادةً ما تكون رقيقة وهشة. يمكن لشريط الأشعة فوق البنفسجية أن يلتصق بالرقاقة بقوة بالإطار أو مرحلة الرقاقة لمنع الرقاقة من التحرك والاهتزاز أثناء عملية القطع، مما يضمن دقة القطع.
يمكنه توفير حماية مادية جيدة للرقاقة، وتجنب حدوث أي ضرر لها.رقاقةحماية بنية الشريحة والدائرة على سطح الرقاقة من التأثيرات الخارجية والاحتكاك الذي قد يحدث أثناء عملية القطع، مثل الشقوق وانهيار الحافة وغيرها من العيوب.
عملية قطع مريحة
يتميز شريط الأشعة فوق البنفسجية بمرونة ومرونة مناسبتين، ويمكنه التشوه بشكل معتدل عند قطع شفرة القطع، مما يجعل عملية القطع أكثر سلاسة، ويقلل من الآثار السلبية لمقاومة القطع على الشفرة والرقاقة، ويساعد على تحسين جودة القطع وعمر الشفرة. كما أن خصائص سطحه تُمكّن الحطام الناتج عن القطع من الالتصاق بالشريط بشكل أفضل دون تناثره، مما يُسهّل تنظيف منطقة القطع لاحقًا، ويحافظ على بيئة العمل نظيفة نسبيًا، ويمنع تلوث الحطام أو تداخله مع الرقاقة والمعدات الأخرى.
من السهل التعامل معها لاحقًا
بعد قطع الرقاقة، يمكن تقليل لزوجة شريط الأشعة فوق البنفسجية بسرعة أو حتى فقدها تمامًا عن طريق تشعيعه بالضوء فوق البنفسجي بطول موجي وكثافة محددين، بحيث يمكن فصل الرقاقة المقطوعة بسهولة عن الشريط، وهو أمر مناسب لتعبئة الرقاقة اللاحقة واختبارها وتدفقات العملية الأخرى، كما أن عملية الفصل هذه تنطوي على مخاطر منخفضة للغاية لإتلاف الرقاقة.
وقت النشر: ١٦ ديسمبر ٢٠٢٤