Vim li cas peb thiaj siv daim kab xev UV rau kev txiav wafer? | VET Zog

Tom qab lubncuav mog qab zibtau dhau los ntawm cov txheej txheem dhau los, kev npaj cov chip tiav lawm, thiab nws yuav tsum tau txiav kom cais cov chips ntawm lub wafer, thiab thaum kawg ntim. Lubncuav mog qab zibCov txheej txheem txiav xaiv rau cov wafers ntawm ntau qhov tuab kuj txawv:

▪Cov ncuav mog qab zibnrog ib tug tuab ntawm ntau tshaj 100um feem ntau yog txiav nrog hniav;

▪Cov ncuav mog qab zibNrog rau qhov tuab tsawg dua 100um feem ntau yog txiav nrog lasers. Kev txiav laser tuaj yeem txo cov teeb meem ntawm kev tev tawm thiab tawg, tab sis thaum nws siab dua 100um, kev ua haujlwm ntau lawm yuav raug txo qis heev;

▪Cov ncuav mog qab zibnrog rau qhov tuab tsawg dua 30um raug txiav nrog plasma. Kev txiav plasma yog ceev thiab yuav tsis ua puas rau qhov chaw ntawm lub wafer, yog li txhim kho cov txiaj ntsig, tab sis nws cov txheej txheem nyuaj dua;

Thaum lub sijhawm txiav wafer, yuav muaj ib zaj duab xis lo rau ntawm wafer ua ntej kom ntseeg tau tias "singling" muaj kev nyab xeeb dua. Nws cov haujlwm tseem ceeb yog raws li nram no.

Kho thiab tiv thaiv lub wafer

Thaum lub sijhawm ua haujlwm dicing, lub wafer yuav tsum tau txiav kom raug.Cov ncuav mog qab zibfeem ntau nyias thiab tawg yooj yim. Daim kab xev UV tuaj yeem lo lub wafer rau ntawm tus ncej lossis theem wafer kom tiv thaiv lub wafer kom tsis txhob txav thiab co thaum lub sijhawm txiav, ua kom ntseeg tau tias qhov tseeb thiab raug ntawm kev txiav.
Nws tuaj yeem muab kev tiv thaiv lub cev zoo rau lub wafer, zam kev puas tsuaj rauncuav mog qab zibtshwm sim los ntawm kev cuam tshuam sab nraud thiab kev sib txhuam uas yuav tshwm sim thaum lub sijhawm txiav, xws li tawg, ntug tawg thiab lwm yam tsis zoo, thiab tiv thaiv cov qauv chip thiab circuit ntawm qhov chaw ntawm wafer.

Kev ua haujlwm txiav yooj yim

Daim kab xev UV muaj qhov elasticity thiab kev ywj pheej zoo, thiab tuaj yeem deform me ntsis thaum lub hniav txiav, ua rau cov txheej txheem txiav du, txo cov teebmeem tsis zoo ntawm kev tiv thaiv txiav rau ntawm hniav thiab wafer, thiab pab txhim kho qhov zoo ntawm kev txiav thiab lub neej ua haujlwm ntawm hniav. Nws cov yam ntxwv ntawm qhov chaw ua rau cov khib nyiab tsim los ntawm kev txiav kom lo rau daim kab xev zoo dua yam tsis muaj dej ntws ncig, uas yooj yim rau kev ntxuav tom qab ntawm thaj chaw txiav, ua kom qhov chaw ua haujlwm huv si, thiab tiv thaiv cov khib nyiab los ntawm kev ua qias tuaj lossis cuam tshuam rau wafer thiab lwm yam khoom siv.

Yooj yim rau kev tswj hwm tom qab

Tom qab txiav cov wafer, daim kab xev UV tuaj yeem txo qis sai sai hauv viscosity lossis txawm tias ploj tag nrho los ntawm kev siv lub teeb ultraviolet ntawm qhov wavelength thiab qhov muaj zog tshwj xeeb, yog li ntawd cov chip txiav tuaj yeem sib cais tau yooj yim ntawm daim kab xev, uas yooj yim rau kev ntim khoom chip tom ntej, kev sim thiab lwm yam txheej txheem ntws, thiab cov txheej txheem sib cais no muaj kev pheej hmoo tsawg heev ntawm kev ua puas tsuaj rau cov chip.