Ke hobane'ng ha re sebelisa teipi ea UV bakeng sa ho seha li-wafer? | VET Energy

Kamorasejana sa bohobeHa e se e fetile ts'ebetsong e fetileng, ho lokisoa ha chip ho phethetsoe, 'me e hloka ho sehoa ho arola chips holim'a wafer, ebe qetellong e pakoa.sejana sa bohobeMokhoa oa ho seha o khethiloeng bakeng sa li-wafer tsa botenya bo fapaneng le oona o fapane:

▪Li-waferka botenya ba ho feta 100um hangata li khaoloa ka mahare;

▪Li-waferka botenya ba ka tlase ho 100um hangata li sehoa ka laser. Ho seha ka laser ho ka fokotsa mathata a ho petsoha le ho petsoha, empa ha e le kaholimo ho 100um, katleho ea tlhahiso e tla fokotseha haholo;

▪Li-wafertse nang le botenya ba ka tlase ho 30um li khaoloa ka plasma. Ho khaola plasma ho potlakile 'me ho ke ke ha senya bokaholimo ba wafer, ka hona ho ntlafatsa chai, empa ts'ebetso ea eona e rarahane le ho feta;

Nakong ea ts'ebetso ea ho seha wafer, filimi e tla sebelisoa ho wafer esale pele ho netefatsa hore e "siloa ka bonngoe" ka mokhoa o sireletsehileng. Mesebetsi ea eona e meholo ke e latelang.

Lokisa le ho sireletsa wafer

Nakong ea ts'ebetso ea ho seha, wafer e hloka ho sehoa ka nepo.Li-waferHangata li tšesaane ebile lia robeha. Theipi ea UV e ka khomarela wafer ka thata foreiming kapa sethaleng sa wafer ho thibela wafer ho sisinyeha le ho sisinyeha nakong ea ts'ebetso ea ho seha, ho netefatsa ho nepahala le ho nepahala ha seha.
E ka fana ka tšireletso e ntle ea 'mele bakeng sa wafer, e qoba tšenyo hosejana sa bohobee bakoang ke tšusumetso ea matla a kantle le khohlano e ka bang teng nakong ea ts'ebetso ea ho seha, joalo ka mapetso, ho putlama ha moeli le liphoso tse ling, le ho sireletsa sebopeho sa chip le potoloho holim'a wafer.

Ts'ebetso e bonolo ea ho seha

Theipi ea UV e na le ho tenyetseha le ho tenyetseha ho loketseng, 'me e ka senyeha ka mokhoa o itekanetseng ha lehare la ho seha le kena, e leng se etsang hore mokhoa oa ho seha o be bonolo, e fokotsa litlamorao tse mpe tsa ho hanyetsa ho seha lehare le wafer, le ho thusa ho ntlafatsa boleng ba ho seha le bophelo ba ts'ebeletso ea lehare. Litšobotsi tsa eona tsa bokaholimo li nolofalletsa lithōle tse hlahisoang ke ho seha ho khomarela theipi hamolemo ntle le ho hasana hohle, e leng se loketseng ho hloekisoa ha sebaka sa ho seha hamorao, ho boloka tikoloho ea mosebetsi e hloekile haholo, le ho qoba lithōle ho silafatsa kapa ho sitisa wafer le lisebelisoa tse ling.

Ho bonolo ho sebetsana le hona hamorao

Kamora hore wafer e sehe, theipi ea UV e ka fokotseha ka potlako ho viscosity kapa ea lahleha ka ho feletseng ka ho e bonesa ka khanya ea ultraviolet ea bolelele ba leqhubu le matla a itseng, e le hore chip e sehetsoeng e ka aroloa habonolo ho theipi, e leng se loketseng ho paka chip e latelang, liteko le phallo e 'ngoe ea ts'ebetso, 'me ts'ebetso ena ea karohano e na le kotsi e tlase haholo ea ho senya chip.