បន្ទាប់ពីនំវ៉ាហ្វើរបានឆ្លងកាត់ដំណើរការមុន ការរៀបចំបន្ទះឈីបត្រូវបានបញ្ចប់ ហើយវាត្រូវការកាត់ដើម្បីបំបែកបន្ទះឈីបនៅលើបន្ទះសៀគ្វី ហើយចុងក្រោយត្រូវបានវេចខ្ចប់។នំវ៉ាហ្វើរដំណើរការកាត់ដែលបានជ្រើសរើសសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីដែលមានកម្រាស់ខុសៗគ្នាក៏ខុសគ្នាដែរ៖
▪នំវ៉ាហ្វើរជាមួយនឹងកម្រាស់លើសពី 100um ជាទូទៅត្រូវបានកាត់ដោយកាំបិត។
▪នំវ៉ាហ្វើរដែលមានកម្រាស់តិចជាង 100um ជាទូទៅត្រូវបានកាត់ដោយឡាស៊ែរ។ ការកាត់ឡាស៊ែរអាចកាត់បន្ថយបញ្ហានៃការរបក និងការប្រេះ ប៉ុន្តែនៅពេលដែលវាលើសពី 100um ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មនឹងត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។
▪នំវ៉ាហ្វើរដែលមានកម្រាស់តិចជាង 30um ត្រូវបានកាត់ដោយប្លាស្មា។ ការកាត់ប្លាស្មាមានល្បឿនលឿន ហើយនឹងមិនធ្វើឱ្យខូចផ្ទៃនៃបន្ទះ wafer នោះទេ ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវទិន្នផល ប៉ុន្តែដំណើរការរបស់វាមានភាពស្មុគស្មាញជាង។
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់បន្ទះ ខ្សែភាពយន្តមួយនឹងត្រូវបានលាបលើបន្ទះជាមុន ដើម្បីធានាបាននូវ "ការកាត់ស្រទាប់តែមួយ" ដ៏មានសុវត្ថិភាព។ មុខងារចម្បងរបស់វាមានដូចខាងក្រោម។
ជួសជុល និងការពារបន្ទះសៀគ្វី
ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការកាត់ជាដុំៗ បន្ទះ wafer ត្រូវការកាត់ឱ្យបានត្រឹមត្រូវ។នំវ៉ាហ្វើរជាធម្មតាស្តើង និងផុយស្រួយ។ កាសែត UV អាចបិទបន្ទះ wafer យ៉ាងរឹងមាំទៅនឹងស៊ុម ឬដំណាក់កាល wafer ដើម្បីការពារបន្ទះ wafer ពីការរំកិល និងញ័រក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់ ដែលធានាបាននូវភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់។
វាអាចផ្តល់ការការពាររាងកាយល្អសម្រាប់ wafer ជៀសវាងការខូចខាតដល់នំវ៉ាហ្វើរបណ្តាលមកពីកម្លាំងខាងក្រៅប៉ះទង្គិច និងការកកិត ដែលអាចកើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់ ដូចជាស្នាមប្រេះ ការដួលរលំគែម និងពិការភាពផ្សេងៗទៀត និងការពាររចនាសម្ព័ន្ធបន្ទះឈីប និងសៀគ្វីនៅលើផ្ទៃនៃបន្ទះសៀគ្វី។
ប្រតិបត្តិការកាត់ងាយស្រួល
កាសែត UV មានភាពបត់បែន និងភាពបត់បែនសមស្រប ហើយអាចខូចទ្រង់ទ្រាយមធ្យមនៅពេលដែលកាំបិតកាត់ចូល ដែលធ្វើឱ្យដំណើរការកាត់រលូនជាងមុន កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមាននៃភាពធន់នឹងការកាត់លើកាំបិត និងបន្ទះស្តើង ព្រមទាំងជួយកែលម្អគុណភាពកាត់ និងអាយុកាលសេវាកម្មរបស់កាំបិត។ លក្ខណៈផ្ទៃរបស់វាអនុញ្ញាតឱ្យកំទេចកំទីដែលបង្កើតឡើងដោយការកាត់ស្អិតជាប់នឹងកាសែតបានល្អជាងដោយមិនហៀរចេញ ដែលងាយស្រួលសម្រាប់ការសម្អាតតំបន់កាត់ជាបន្តបន្ទាប់ រក្សាបរិស្ថានការងារឱ្យស្អាត និងជៀសវាងកំទេចកំទីពីការបំពុល ឬជ្រៀតជ្រែកជាមួយបន្ទះស្តើង និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀត។
ងាយស្រួលដោះស្រាយនៅពេលក្រោយ
បន្ទាប់ពីកាត់បន្ទះ wafer រួចរាល់ បន្ទះ UV អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ viscosity យ៉ាងឆាប់រហ័ស ឬបាត់បង់ទាំងស្រុងដោយការបំភ្លឺវាដោយពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេដែលមានរលកពន្លឺ និងអាំងតង់ស៊ីតេជាក់លាក់មួយ ដូច្នេះបន្ទះឈីបដែលកាត់អាចបំបែកចេញពីបន្ទះបានយ៉ាងងាយស្រួល ដែលងាយស្រួលសម្រាប់ការវេចខ្ចប់បន្ទះឈីបជាបន្តបន្ទាប់ ការធ្វើតេស្ត និងលំហូរដំណើរការផ្សេងទៀត ហើយដំណើរការបំបែកនេះមានហានិភ័យទាបបំផុតក្នុងការបំផ្លាញបន្ទះឈីប។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៤