Ma hope o kawaferua hala i ke kaʻina hana ma mua, ua pau ka hoʻomākaukau ʻana o ka ʻāpana, a pono e ʻoki ʻia e hoʻokaʻawale i nā ʻāpana ma ka wafer, a laila hoʻopili hope ʻia. ʻO kawaferʻOkoʻa nō hoʻi ke kaʻina hana ʻoki i koho ʻia no nā wafers o nā mānoanoa like ʻole:
▪Nā Wafersme ka mānoanoa o ʻoi aku ma mua o 100um e ʻoki pinepine ʻia me nā pahi;
▪Nā Wafersme ka mānoanoa o lalo o 100um e ʻoki pinepine ʻia me nā lasers. Hiki i ka ʻoki ʻana o ka laser ke hōʻemi i nā pilikia o ka ʻili ʻana a me ka nahā ʻana, akā inā ʻoi aku ma mua o 100um, e hoʻemi nui ʻia ka pono o ka hana ʻana;
▪Nā Wafersme ka mānoanoa o ka emi ma mua o 30um ua ʻoki ʻia me ka plasma. He wikiwiki ka ʻoki ʻana o ka plasma a ʻaʻole e hōʻino i ka ʻili o ka wafer, no laila e hoʻomaikaʻi ana i ka hua, akā ʻoi aku ka paʻakikī o kāna kaʻina hana;
I ke kaʻina hana ʻoki wafer, e hoʻopili ʻia kahi ʻili i ka wafer ma mua e hōʻoia i ka "singling" palekana. Eia kāna mau hana nui.
Hoʻopaʻa a mālama i ka wafer
I ka wā o ke kaʻina hana, pono e ʻoki pono i ka wafer.Nā Wafershe lahilahi a palupalu hoʻi. Hiki i ka lipine UV ke hoʻopili paʻa i ka wafer i ka mōlina a i ʻole ke kahua wafer e pale ai i ka wafer mai ka neʻe ʻana a me ka haʻalulu i ka wā o ke kaʻina ʻoki, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka pololei a me ka pololei o ka ʻoki ʻana.
Hiki iā ia ke hāʻawi i ka palekana kino maikaʻi no ka wafer, pale i ka hōʻino ʻana i kawaferi hoʻokumu ʻia e ka hopena o ka ikaika o waho a me ka friction e hiki mai ana i ka wā o ke kaʻina ʻoki, e like me nā māwae, ka hiolo ʻana o ka lihi a me nā hemahema ʻē aʻe, a pale i ke ʻano o ka chip a me ke kaapuni ma luna o ka wafer.
Hana ʻoki kūpono
Loaʻa i ka lipine UV ka elasticity kūpono a me ka maʻalahi, a hiki ke hoʻololi iki i ke ʻano ke ʻoki ka pahi ʻoki, e hoʻomaʻamaʻa ana i ke kaʻina hana ʻoki, e hōʻemi ana i nā hopena maikaʻi ʻole o ke kū'ē ʻana i ka pahi a me ka wafer, a kōkua i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka maikaʻi o ke ʻoki a me ke ola lawelawe o ka pahi. ʻO kona ʻano o ka ʻili e hiki ai i nā ʻōpala i hana ʻia e ka ʻoki ʻana ke hoʻopili maikaʻi i ka lipine me ka ʻole o ka pīpī ʻana a puni, kahi mea kūpono no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana ma hope o ka wahi ʻoki, e mālama ana i ka maʻemaʻe o ka wahi hana, a me ka pale ʻana i nā ʻōpala mai ka haumia a i ʻole ke komo ʻana i ka wafer a me nā lako ʻē aʻe.
Maʻalahi e lawelawe ma hope
Ma hope o ka ʻoki ʻana o ka wafer, hiki ke hoʻemi koke ʻia ka viscosity o ka lipine UV a nalowale loa paha ma ka hoʻomālamalama ʻana me ka mālamalama ultraviolet o kahi nalu a me ka ikaika kikoʻī, i hiki ke hoʻokaʻawale maʻalahi ʻia ka ʻāpana ʻoki mai ka lipine, kahi mea kūpono no ka hoʻopili ʻana i nā ʻāpana ma hope, ka hoʻāʻo ʻana a me nā kahe hana ʻē aʻe, a he haʻahaʻa loa ka pilikia o kēia kaʻina hana hoʻokaʻawale i ka hōʻino ʻana i ka ʻāpana.
Ka manawa hoʻouna: Dec-16-2024


