Ina ua uma lewaferua alu i le faagasologa muamua, ua maeʻa le tapenaga o chip, ma e manaʻomia ona tipi e vavae ese ai meataalo i luga o le wafer, ma mulimuli ane afifi. O lewaferO le tipiina o le faagasologa filifilia mo wafers o mafiafia eseese e ese foi:
▪Wafersma le mafiafia o le sili atu i le 100um e masani ona tipi i lau;
▪Wafersma le mafiafia o le itiiti ifo i le 100um e masani ona tipi i le lasers. O le tipiina o le laser e mafai ona faʻaitiitia ai faʻafitauli o le paʻu ma le taʻe, ae a oʻo i luga atu o le 100um, o le a faʻaitiitia le lelei o le gaosiga;
▪Wafersma le mafiafia e itiiti ifo i le 30um ua tipiina i le plasma. O le tipiina o le plasma e vave ma o le a le faʻaleagaina ai le pito i luga o le wafer, ma faʻaleleia ai le gaosiga, ae o lona faagasologa e sili atu ona faigata;
I le taimi o le tipiina o le wafer, o le a faʻaaogaina se ata tifaga i le wafer i le taimi muamua e faʻamautinoa ai le saogalemu o le "singling". O ana galuega autu e pei ona taua i lalo.
Fa'asa'o ma puipui le wafer
I le taimi o le ta'aloga ta'i, e mana'omia le tipi sa'o o le wafer.Waferse masani ona manifinifi ma vaivai. UV tape e mafai ona pipii mau le wafer i le faavaa poʻo le wafer stage e puipuia ai le wafer mai le fesuiaʻi ma lulu i le taimi o le tipiina, faʻamautinoa le saʻo ma le saʻo o le tipi.
E mafai ona maua ai se puipuiga lelei faaletino mo le wafer, aloese mai le faaleagaina o lewafermafua mai i le malosi mai fafo aafiaga ma feteʻenaʻiga e mafai ona tupu i le faagasologa o le tipiina, e pei o taʻe, pa'ū pito ma isi faaletonu, ma puipuia le fausaga o le chip ma le taamilosaga i luga o le fafie.
Faigofie le tipiina
UV lipine e talafeagai lelei ma fetuutuunai, ma e mafai ona deform moderately pe a tipi tipi i totonu, faia le faagasologa o le tipiina lamolemole, faaitiitia aafiaga leaga o le tipiina tetee i luga o le lau ma wafer, ma fesoasoani e faaleleia le tipiina lelei ma le auaunaga ola o le lau. O ona uiga i luga e mafai ai ona pipii lelei le lapisi e ala i le tipiina e aunoa ma le sausau solo, lea e faigofie mo le faamamaina mulimuli o le vaega tipi, tausia le siosiomaga faigaluega mama mama, ma aloese mai otaota mai le faaleagaina pe faʻalavelave i le wafer ma isi meafaigaluega.
Faigofie ona taulimaina mulimuli ane
A maeʻa ona tipiina, e mafai ona vave faʻaititia le lipine UV i le viscosity poʻo le leiloa atoa e ala i le faʻamalamalamaina i le malamalama ultraviolet o se galu ma le malosi, ina ia mafai ona faigofie ona vavae ese le puʻe mai le lipine, lea e faigofie mo le faʻapipiʻiina o chip, suʻega ma isi gaioiga, ma o lenei vavaega o loʻo i ai se tulaga maualalo e ono afaina ai le pu.
Taimi meli: Tes-16-2024


