הויך ריינקייט קוואַרץ שיפל פֿאַר וואַפער פּראַסעסינג

קוואַרץ וואַפער שיפלאיז אַ שליסל טרעגער געצייַג אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג, פאָטאָוואָלטאַיק צעל פּראָדוקציע און אַוואַנסירטע מאַטעריאַל פאָרשונג און אַנטוויקלונג, דיזיינד פֿאַר סטאַביל וועיפער אַריבערפירן און פּאַזישאַנינג אין הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז. דאָס פּראָדוקט איז געמאכט פון גאָר הויך ריינקייט פיוזד סיליקאַ (SiO2), מיט ויסגעצייכנט טעמפּעראַטור קעגנשטעל, כעמישער פעסטקייט און גאָר נידעריק מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן קעראַקטעריסטיקס, פּאַסיק פֿאַר דיפיוזשאַן אויוון, אַקסאַדיישאַן אויוון, PECVD/LPCVD און אנדערע ויסריכט, וויידלי געניצט אין וועיפער קאָוטינג, יאָן ימפּלאַנטיישאַן, הויך טעמפּעראַטור אַנילינג און אנדערע קאָר פּראַסעסאַז.

די הויפּט מעלות פון VET ענערגיע'ס קוואַרץ שיפל:

• אולטרא-הויך ריינקייט מאַטעריאַל
  ריינקייט ≥99.99%: אומריינקייט אינהאַלט (Na, K, Fe, אאז"וו) <5ppm, וואָס פאַרמייַדט וועיפער קאַנטאַמאַניישאַן און גאַראַנטירט טשיפּ פּראָדוקציע.
  נידעריקע אָפּזאַץ און אַדסאָרפּציע: די ייבערפלאַך איז סופּער-פּאָלירט (Ra≤0.4μm) צו רעדוצירן פּאַרטיקל אַדכיזשאַן און גאַז רעזאַדו.
• הויך טעמפּעראַטור פעסטקייט
  טעמפּעראַטור לימיט: לאַנג-טערמין אַרבעט טעמפּעראַטור פון 1100 ℃, קורץ-טערמין שפּיץ פון 1300 ℃, קיין דעפאָרמאַציע, קיין קריסטאַל אָפּזאַץ.
  נידעריק טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט (5.5x10-7/℃), ויסגעצייכנט טערמישע קלאַפּ קעגנשטעל, אַדאַפּטאַבאַל צו שנעל טעמפּעראַטור העכערונג און פאַל פּראָצעס (למשל RTP שנעל אַנילינג).
• גענויער סטרוקטורעלער פּלאַן
  סלאָט פּרעציזיע ±0.1 מם: פּאַסיק 2” ביז 12” וועיפערס, ספּייסינג יוניפאָרמאַטי טעות <0.05 מם, ענשורינג וועיפערס האָבן קיין אָפסעט.
  הויכע לאַסט קאַפּאַציטעט: מאַקסימום לאַסט פון 50 וועיפערס (אין טערמינען פון 12” וועיפערס) אין איין שיף, וואָס שטיצט סטאַבילן אַריבערפירן פון דין וועיפערס (≥100µm).
• כעמישע אינערטקייט
  קעראָוזשאַן קעגנשטעל: קעגנשטעליק צו זויער (אחוץ HF), אַלקאַלי און אָרגאַניש סאָלוואַנט קעראָוזשאַן, קאַמפּאַטאַבאַל מיט CMP רייניקונג פּראָצעס.
  אויסגעצייכנטע גאַז־געדיכטקייט: ליקאַדזש־ראַטע <5x10-10 Pa.m3/s, פּאַסיק פֿאַר וואַקוום און פּראַטעקטיוו־גאַז־סביבות.
• לאַנג לעבן און וישאַלטאַביליטי
  לעבנסדויער ≥ 5000 ציקלען (נאָרמאַלע אַרבעטס באַדינגונגען), די ייבערפלאַך קען זיין ריפּיטידלי ריין און געניצט, רידוסינג די קוילעלדיק קאָסטן.
  מאָדולאַר פּלאַן: שטיצט טיילווייזע פאַרבייַט (למשל איין שיפל צאָן), רידוסינג דאַונטיים.

מיר פאָרשלאָגן ביידע טראַנספּאַרענט און מאַסטערד סערפאַסיז לויט קונה ס באדערפענישן:

נינגבאָ וועט ענערגיע טעכנאָלאָגיע קאָו., לטד איז אַ הויך-טעק ענטערפּרייז פאָקוסירט אויף דער פּראָדוקציע און פארקויפונג פון הויך-סוף אַוואַנסירטע מאַטעריאַלס, די מאַטעריאַלס און טעכנאָלאָגיע אַרייַנגערעכנט גראַפיט, סיליקאָן קאַרבייד, קעראַמיק, ייבערפלאַך באַהאַנדלונג ווי SiC קאָוטינג, TaC קאָוטינג, גלאַסי קאַרבאָן קאָוטינג, פּיראָליטיק קאַרבאָן קאָוטינג, אאז"ו ו, די פּראָדוקטן זענען וויידלי געניצט אין פאָטאָוואָלטאַיק, האַלב-קאָנדוקטאָר, נייַע ענערגיע, מעטאַלורגיע, אאז"ו ו.

אונדזער טעכנישער מאַנשאַפֿט קומט פֿון די בעסטע דינער פֿאָרשונג אינסטיטוציעס, און האָבן אַנטוויקלט קייפל פּאַטענטירטע טעכנאָלאָגיעס צו ענשור פּראָדוקט פאָרשטעלונג און קוואַליטעט, און קענען אויך צושטעלן קאַסטאַמערז מיט פּראָפֿעסיאָנעלע מאַטעריאַל לייזונגען.