Materiaal en struktuur van grafietboot
Grafietboot is 'n hoëtemperatuur-prosestoerusting, wat gewoonlik van hoë suiwerheid grafietmateriaal gemaak word en behandel word met 'n SiC (silikonkarbied) of TaC (tantaalkarbied) bedekkingsoppervlak om die algehele toerusting se oksidasieweerstand, korrosiebestandheid en lewensduur te verbeter.
In industriële vervaardiging,grafietboteword gewoonlik as draers vir konvensionele silikonwafers in die produksie van bedekkingsprosesse gebruik. Die struktuur het baie bote met 'n sekere interval. Daar is 'n baie nou spasie tussen twee aangrensende bote, en die silikonwafers word aan beide kante van die leë deur geplaas.
Werkbeginsel van grafietboot
Omdat grafiet, die materiaal van die grafietboot, goeie geleidingsvermoë en termiese geleidingsvermoë het, word 'n WS-spanning tussen twee aangrensende bote toegepas om positiewe en negatiewe elektrodes te vorm. Wanneer daar 'n sekere lugdruk en gas in die kamer is, vind 'n gloei-ontlading tussen die twee bote plaas. Die gloei-ontlading kan SiH4- en NH3-gas in die ruimte ontbind, Si- en N-ione vorm, en kombineer om SiNx-molekules te vorm. Dit word op die oppervlak van ... neergelê.silikonwafelom die doel van bedekking te bereik. As 'n draer van sonsel-antirefleksiebedekking, beïnvloed die struktuur en grootte van die grafietboot direk die omskakelingsdoeltreffendheid en produksiedoeltreffendheid van silikonwafel.
Waarom VET Energie kies?
As China se voorstePECVD grafietbootvervaardiger en verskaffer, na jare se tegniese navorsing en ontwikkeling, het VET Energy nou gevorderde produksietoerusting vergelykbaar met Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, volwasse tegniese ontwerpers en ervare produksiepersoneel, en alle materiale is ingevoerde grondstowwe.
Tans beskik die grafietbote wat deur ons maatskappy vervaardig word, oor die eienskappe van hoë doeltreffendheid en presiese struktuur. En die spasiëring van die ontwerpte grafietbote is redelik, sodat die silikonwafellaag eenvormig is, die kwaliteit van die silikonwafel in alle aspekte verbeter word, en die sonenergie-omskakelingsdoeltreffendheid aansienlik verbeter word. Boonop kan VET Energy alle soorte grafietbote ontwerp en vervaardig wat deur die huidige mark benodig word, en pasgemaakte produkte en tegniese dienste ondersteun, wat beslis aan u verskeie pasgemaakte PECVD-grafietbootprodukbehoeftes kan voldoen.
Hoë suiwerheid PECVD grafietboot vir sonpaneel
Plasingstyd: 8 April 2021