Materiaal en structuur van de grafietboot
Een grafietboot is een procesapparaat voor hoge temperaturen, dat doorgaans is gemaakt van zeer zuiver grafiet en is behandeld met een SiC- (siliciumcarbide) of TaC- (tantalumcarbide) coating om de oxidatiebestendigheid, corrosiebestendigheid en levensduur van het apparaat te verbeteren.
In de industriële productie,grafietbotenZe worden doorgaans gebruikt als dragers voor conventionele siliciumwafers in de productie van coatingprocessen. De structuur bestaat uit meerdere bootjes met een bepaalde tussenruimte. Tussen twee naast elkaar gelegen bootjes is een zeer smalle ruimte, en de siliciumwafers worden aan weerszijden van de lege ruimte geplaatst.
Werkingsprincipe van een grafietboot
Omdat grafiet, het materiaal van de grafietboot, een goede geleidbaarheid en thermische geleidbaarheid heeft, wordt een wisselspanning aangelegd tussen twee naast elkaar gelegen boten om positieve en negatieve elektroden te vormen. Wanneer er een bepaalde luchtdruk en gas in de kamer aanwezig is, ontstaat er een gloeiontlading tussen de twee boten. Deze gloeiontlading kan SiH4- en NH3-gas in de ruimte ontleden, Si- en N-ionen vormen en combineren tot SiNx-moleculen die op het oppervlak worden afgezet.siliciumwafelOm het beoogde doel van de coating te bereiken. Als drager van de antireflectiecoating voor zonnecellen hebben de structuur en de grootte van het grafietbootje een directe invloed op de conversie-efficiëntie en de productie-efficiëntie van de siliciumwafel.
Waarom kiezen voor VET Energy?
Als China's leidendePECVD-grafietbootAls fabrikant en leverancier beschikt VET Energy, na jaren van technisch onderzoek en ontwikkeling, nu over geavanceerde productieapparatuur die vergelijkbaar is met die van Toyo Tanso, SGL Carbon en Mersen, ervaren technisch ontwerpers en deskundig productiepersoneel, en alle materialen zijn geïmporteerde grondstoffen.
De grafietboten die ons bedrijf momenteel produceert, kenmerken zich door een hoge efficiëntie en een precieze structuur. De afstand tussen de lagen in de ontworpen grafietboten is optimaal, waardoor de siliciumwafercoating uniform is, de kwaliteit van de siliciumwafer in alle opzichten verbeterd is en de efficiëntie van de zonne-energieconversie aanzienlijk wordt verhoogd. Bovendien kan VET Energy alle soorten grafietboten ontwerpen en produceren die de huidige markt vereist, en bieden we maatwerk en technische ondersteuning. Zo kunnen we zeker voldoen aan uw diverse behoeften op het gebied van op maat gemaakte PECVD-grafietboten.
Geplaatst op: 8 april 2021
