Υλικό και δομή του σκάφους από γραφίτη
Το Graphite Boat είναι ένας εξοπλισμός επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας, ο οποίος συνήθως κατασκευάζεται από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας και υποβάλλεται σε επεξεργασία με επιφάνεια επίστρωσης SiC (καρβίδιο του πυριτίου) ή TaC (καρβίδιο του τανταλίου) για τη βελτίωση της συνολικής αντοχής στην οξείδωση, της αντοχής στη διάβρωση και της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού.
Στη βιομηχανική παραγωγή,βάρκες από γραφίτηχρησιμοποιούνται συνήθως ως φορείς για συμβατικά πλακίδια πυριτίου στην παραγωγή διεργασιών επικάλυψης. Η δομή έχει πολλά σκάφη με ένα συγκεκριμένο διάστημα. Υπάρχει ένας πολύ στενός χώρος μεταξύ δύο γειτονικών σκαφών και τα πλακίδια πυριτίου τοποθετούνται και στις δύο πλευρές της κενής πόρτας.
Αρχή λειτουργίας του σκάφους από γραφίτη
Επειδή ο γραφίτης, το υλικό του γραφιτού σκάφους, έχει καλή αγωγιμότητα και θερμική αγωγιμότητα, εφαρμόζεται τάση AC μεταξύ δύο γειτονικών σκαφών για να σχηματιστούν θετικά και αρνητικά ηλεκτρόδια. Όταν υπάρχει μια ορισμένη πίεση αέρα και αερίου στον θάλαμο, συμβαίνει μια εκκένωση λάμψης μεταξύ των δύο σκαφών. Η εκκένωση λάμψης μπορεί να αποσυνθέσει το αέριο SiH4 και NH3 στον χώρο, να σχηματίσει ιόντα Si και N και να συνδυαστεί για να σχηματίσει μόρια SiNx. Εναποτίθεται στην επιφάνεια τουπλακίδιο πυριτίουγια την επίτευξη του σκοπού της επικάλυψης. Ως φορέας αντιανακλαστικής επίστρωσης ηλιακών κυψελών, η δομή και το μέγεθος του γραφιτικού σκάφους επηρεάζουν άμεσα την απόδοση μετατροπής και την απόδοση παραγωγής του πλακιδίου πυριτίου.
Γιατί να επιλέξετε την VET Energy;
Ως κορυφαίος της ΚίναςΒάρκα γραφίτη PECVDΚατασκευαστής και προμηθευτής, μετά από χρόνια τεχνικής έρευνας και ανάπτυξης, η VET Energy διαθέτει πλέον προηγμένο εξοπλισμό παραγωγής συγκρίσιμο με την Toyo Tanso, την SGL Carbon, την Mersen, ώριμους τεχνικούς σχεδιαστές και έμπειρο προσωπικό παραγωγής, και όλα τα υλικά είναι εισαγόμενες πρώτες ύλες.
Προς το παρόν, τα σκάφη γραφίτη που παράγει η εταιρεία μας έχουν τα χαρακτηριστικά υψηλής απόδοσης και ακριβούς δομής. Και η απόσταση μεταξύ των σχεδιασμένων σκαφών γραφίτη είναι λογική, έτσι ώστε η επίστρωση πλακιδίων πυριτίου να είναι ομοιόμορφη, η ποιότητα των πλακιδίων πυριτίου να βελτιώνεται από όλες τις απόψεις και η απόδοση μετατροπής ηλιακής ενέργειας να βελτιώνεται σημαντικά. Το πιο σημαντικό, η VET Energy μπορεί να σχεδιάσει και να παράγει όλα τα είδη σκαφών γραφίτη που απαιτούνται από την τρέχουσα αγορά και να υποστηρίξει προσαρμοσμένα προϊόντα και τεχνικές υπηρεσίες, τα οποία μπορούν σίγουρα να καλύψουν τις διάφορες προσαρμοσμένες ανάγκες σας σε σκάφη γραφίτη PECVD.
Σκάφος γραφίτη υψηλής καθαρότητας PECVD για ηλιακό πάνελ
Ώρα δημοσίευσης: 08 Απριλίου 2021