Materialo kaj strukturo de grafita boato
Grafita Boato estas ekipaĵo por alttemperatura procezo, kiu kutime estas farita el altpureca grafita materialo kaj traktita per SiC (silicia karbido) aŭ TaC (tantala karbido) tegaĵo por plibonigi la ĝeneralan reziston al oksidiĝo, korodreziston kaj servodaŭron de la ekipaĵo.
En industria fabrikado,grafitaj boatojkutime estas uzataj kiel portantoj por konvenciaj siliciaj obletoj en la produktado de tegaĵaj procezoj. La strukturo havas multajn ŝipetojn kun certa intervalo. Estas tre mallarĝa spaco inter du apudaj ŝipetoj, kaj la siliciaj obletoj estas metitaj ambaŭflanke de la malplena pordo.
Funkciprincipo de grafita boato
Ĉar grafito, la materialo de la grafita ŝipeto, havas bonan konduktivecon kaj varmokonduktivecon, alterna tensio estas aplikata inter du apudaj ŝipetoj por formi pozitivajn kaj negativajn elektrodojn. Kiam estas certa aerpremo kaj gaso en la ĉambro, okazas ardomalŝargo inter la du ŝipetoj. La ardomalŝargo povas malkomponi SiH4 kaj NH3-gasojn en la spaco, formi Si kaj N-jonojn, kaj kombiniĝi por formi SiNx-molekulojn. Ĝi deponiĝas sur la surfaco de...silicia oblatopor atingi la celon de tegaĵo. Kiel portanto de sunĉela kontraŭreflekta tegaĵo, la strukturo kaj grandeco de grafita boato rekte influas la konvertan efikecon kaj produktadan efikecon de silicia oblato.
Kial elekti VET Energy?
Kiel la ĉefa de ĈinioPECVD-grafita boatofabrikanto kaj provizanto, post jaroj da teknika esplorado kaj evoluigo, VET Energy nun havas progresintan produktadekipaĵon kompareblan al Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, maturajn teknikajn dizajnistojn kaj spertan produktadpersonaron, kaj ĉiuj materialoj estas importitaj krudmaterialoj.
Nuntempe, la grafitaj boatoj produktitaj de nia kompanio havas la karakterizaĵojn de alta efikeco kaj preciza strukturo. Kaj la interspaco de la desegnitaj grafitaj boatoj estas akceptebla, tiel ke la silicioplata tegaĵo estas uniforma, la kvalito de la silicioplato estas plibonigita en ĉiuj aspektoj, kaj la sunenergia konverta efikeco estas multe plibonigita. Pli grave, VET Energy povas desegni kaj produkti ĉiajn grafitajn boatojn postulatajn de la nuna merkato, kaj subteni personecigitajn produktojn kaj teknikajn servojn, kiuj certe povas kontentigi viajn diversajn bezonojn pri personecigitaj PECVD-grafitaj boatoj.
Alta Pureca PECVD Grafita Boato por Suna Panelo
Afiŝtempo: 8-a de aprilo 2021