Mosebetsi oa sekepe sa graphite sa PECVD ke ofe? | VET Energy

Thepa le sebopeho sa sekepe sa graphite

Sekepe sa Graphite ke sesebelisoa sa ts'ebetso ea mocheso o phahameng, seo hangata se entsoeng ka thepa ea graphite e hloekileng haholo 'me se phekoloa ka SiC (silicon carbide) kapa TaC (tantalum carbide) bokaholimo ba sekoahelo ho ntlafatsa khanyetso ea oxidation ea lisebelisoa ka kakaretso, khanyetso ea mafome le bophelo ba ts'ebeletso.

Tlhahisong ea indasteri,likepe tsa graphitehangata li sebelisoa e le lijari tsa li-wafer tsa silicon tse tloaelehileng tlhahisong ea ts'ebetso ea ho koahela. Sebopeho se na le likepe tse ngata tse nang le sebaka se itseng. Ho na le sebaka se senyenyane haholo pakeng tsa likepe tse peli tse haufi, 'me li-wafer tsa silicon li behiloe mahlakoreng ka bobeli a monyako o se nang letho.

Molao-motheo oa ho sebetsa ha sekepe sa graphite

Ka lebaka la hore graphite, e leng thepa ea sekepe sa graphite, e na le conductivity e ntle le conductivity ea mocheso, motlakase oa AC o sebelisoa pakeng tsa likepe tse peli tse haufi ho etsa li-electrode tse ntle le tse mpe. Ha ho na le khatello e itseng ea moea le khase ka kamoreng, ho hlaha ho phatloha ha khanya pakeng tsa likepe tse peli. Ho phatloha ha khanya ho ka senya khase ea SiH4 le NH3 sebakeng seo, ha etsa li-ion tsa Si le N, 'me tsa kopana ho etsa limolek'hule tsa SiNx. E beoa holim'asekoahelo sa siliconho fihlela morero oa ho koahela. Jwalo ka sejana sa ho koahela lisele tsa letsatsi se thibelang ho bonesa, sebopeho le boholo ba sekepe sa graphite di ama ka kotloloho bokgoni ba phetoho le bokgoni ba tlhahiso ya wafer ya silicon.

Hobaneng o lokela ho kgetha VET Energy?

Jwalo ka moetapele wa ChinaSekepe sa graphite sa PECVDmoetsi le mofani, kamora dilemo tsa dipatlisiso tsa botekgeniki le ntshetsopele, VET Energy jwale e na le disebediswa tse tswetseng pele tsa tlhahiso tse tshwanang le Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, baqapi ba botekgeniki ba hodileng le basebetsi ba nang le boiphihlelo ba tlhahiso, mme disebediswa tsohle ke disebediswa tse tala tse tswang kantle ho naha.

Hona jwale, dikepe tsa graphite tse hlahiswang ke khamphani ya rona di na le dibopeho tsa bokgoni bo hodimo le sebopeho se nepahetseng. Mme sebaka sa dikepe tse entsweng ka graphite se a utlwahala, e le hore seaparo sa silicon wafer se tshwane, boleng ba silicon wafer bo ntlafatswe ka mahlakoreng ohle, mme bokgoni ba phetoho ya matla a letsatsi bo ntlafatswe haholo. Habohlokoa le ho feta, VET Energy e ka rala le ho hlahisa mefuta yohle ya dikepe tsa graphite tse hlokoang ke mmaraka wa hajwale, mme ya tshehetsa dihlahiswa tse ikgethileng le ditshebeletso tsa botekgeniki, tse ka fihlelang ditlhoko tsa hao tse fapaneng tsa dihlahiswa tsa sekepe sa graphite sa PECVD se ikgethileng.

Sekepe sa Graphite sa PECVD se Hloekileng Haholo bakeng sa Phanele ea Letsatsi