흑연 보트의 재질 및 구조
그래파이트 보트는 고온 공정 장비로, 일반적으로 고순도 그래파이트 소재로 제작되며, 장비 전체의 산화 저항성, 부식 저항성 및 수명을 향상시키기 위해 표면에 SiC(탄화규소) 또는 TaC(탄화탄탈륨) 코팅 처리가 되어 있습니다.
산업 제조 분야에서,흑연 보트이러한 용기는 일반적으로 코팅 공정 생산에서 기존 실리콘 웨이퍼의 캐리어로 사용됩니다. 구조는 일정한 간격으로 배치된 여러 개의 보트로 이루어져 있으며, 인접한 보트 사이의 간격이 매우 좁습니다. 실리콘 웨이퍼는 이 빈 문 양쪽에 놓입니다.
흑연 보트의 작동 원리
흑연 보트의 재질인 흑연은 전도성과 열전도성이 우수하기 때문에, 인접한 두 보트 사이에 교류 전압을 가하여 양극과 음극을 형성합니다. 챔버 내에 일정 압력의 공기와 가스가 존재하면 두 보트 사이에서 글로우 방전이 발생합니다. 이 글로우 방전은 공간 내의 SiH4와 NH3 가스를 분해하여 Si 및 N 이온을 생성하고, 이들이 결합하여 SiNx 분자를 형성하여 보트 표면에 증착시킵니다.실리콘 웨이퍼코팅의 목적을 달성하기 위해, 태양전지 반사 방지 코팅의 담체로서 흑연 보트의 구조와 크기는 실리콘 웨이퍼의 변환 효율과 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다.
VET Energy를 선택해야 하는 이유는 무엇일까요?
중국을 선도하는 기업으로서PECVD 흑연 보트제조업체이자 공급업체인 VET Energy는 수년간의 기술 연구 개발 끝에 Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen에 필적하는 첨단 생산 설비, 숙련된 기술 설계자 및 경험 많은 생산 인력을 보유하고 있으며, 모든 원자재는 수입산입니다.
현재 당사에서 생산하는 흑연 보트는 고효율과 정밀한 구조라는 특징을 갖고 있습니다. 설계된 흑연 보트의 간격이 적절하여 실리콘 웨이퍼 코팅이 균일하고, 실리콘 웨이퍼의 품질이 전반적으로 향상되어 태양 에너지 변환 효율이 크게 개선됩니다. 더욱 중요한 것은 VET Energy는 현재 시장에서 요구하는 모든 종류의 흑연 보트를 설계 및 생산할 수 있으며, 맞춤형 제품 및 기술 서비스를 지원하여 고객의 다양한 맞춤형 PECVD 흑연 보트 제품 요구를 충족할 수 있다는 점입니다.
태양광 패널용 고순도 PECVD 흑연 보트
게시 시간: 2021년 4월 8일