Hvad er funktionen af PECVD grafitbåden?

Materiale og struktur af grafitbåd

Grafitbåd er et højtemperaturprocesudstyr, der normalt er lavet af grafitmateriale med høj renhed og behandlet med en SiC (siliciumcarbid) eller TaC (tantalcarbid) belægningsoverflade for at forbedre udstyrets samlede oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed og levetid.

I industriel produktion,grafitbådebruges normalt som bærere for konventionelle siliciumskiver i produktionen af belægningsprocesser. Strukturen har mange både med et vist interval. Der er et meget smalt mellemrum mellem to tilstødende både, og siliciumskiverne er placeret på begge sider af den tomme dør.

Funktionsprincippet for grafitbåden

Fordi grafit, materialet i grafitbåden, har god ledningsevne og varmeledningsevne, påføres en vekselspænding mellem to tilstødende både for at danne positive og negative elektroder. Når der er et vist lufttryk og gas i kammeret, opstår der en glødeudladning mellem de to både. Glødeudladningen kan nedbryde SiH4- og NH3-gas i rummet, danne Si- og N-ioner og kombineres for at danne SiNx-molekyler. Den aflejres på overfladen afsiliciumwaferfor at opnå formålet med belægningen. Som bærer af solcelle-antireflektionsbelægning påvirker strukturen og størrelsen af grafitbåden direkte konverteringseffektiviteten og produktionseffektiviteten af siliciumwaferen.

Hvorfor vælge VET Energy?

Som Kinas førendePECVD grafitbådProducent og leverandør, efter flere års teknisk forskning og udvikling, har VET Energy nu avanceret produktionsudstyr, der kan sammenlignes med Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, modne tekniske designere og erfarent produktionspersonale, og alle materialer er importerede råvarer.

I øjeblikket har de grafitbåde, der produceres af vores virksomhed, karakteristika som høj effektivitet og præcis struktur. Og afstanden mellem de designede grafitbåde er rimelig, så siliciumwaferbelægningen er ensartet, siliciumwaferens kvalitet forbedres i alle aspekter, og solenergikonverteringseffektiviteten forbedres betydeligt. Endnu vigtigere er det, at VET Energy kan designe og producere alle slags grafitbåde, der kræves af det nuværende marked, og understøtte tilpassede produkter og tekniske tjenester, som helt sikkert kan opfylde dine forskellige behov for tilpassede PECVD-grafitbådsprodukter.