Kí ni iṣẹ́ ọkọ̀ ojú omi PECVD graphite? | VET Energy

Ohun èlò àti ìṣètò ọkọ̀ ojú omi graphite

Ọkọ̀ ojú omi Graphite jẹ́ ohun èlò ìṣiṣẹ́ ooru gíga, èyí tí a sábà máa ń fi ohun èlò graphite mímọ́ tó ga ṣe, tí a sì fi SiC (silicon carbide) tàbí TaC (tantalum carbide) bo ojú ilẹ̀ láti mú kí gbogbo ohun èlò náà lè dúró ṣinṣin, kí ó lè dúró ṣinṣin, kí ó sì tún lè ṣiṣẹ́ dáadáa.

Nínú iṣẹ́-ẹ̀rọ ilé-iṣẹ́,àwọn ọkọ̀ ojú omi graphiteWọ́n sábà máa ń lò ó gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìtọ́jú fún àwọn wáfárì silikon ìbílẹ̀ nínú iṣẹ́ ìbòrí. Ilé náà ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọkọ̀ ojú omi pẹ̀lú àkókò kan pàtó. Ààyè tóóró kan wà láàrín àwọn ọkọ̀ ojú omi méjì tí ó wà lẹ́gbẹ̀ẹ́ wọn, a sì gbé àwọn wáfárì silikon sí ẹ̀gbẹ́ méjèèjì ilẹ̀kùn tí ó ṣofo.

Ofin iṣẹ ti ọkọ oju omi graphite

Nítorí pé graphite, ohun èlò inú ọkọ̀ ojú omi graphite, ní agbára ìdarí tó dára àti agbára ìdarí ooru, a máa ń lo folti AC láàárín àwọn ọkọ̀ ojú omi méjì tó wà ní ẹ̀gbẹ́ láti ṣẹ̀dá àwọn elektirọd rere àti odi. Tí ìfúnpá afẹ́fẹ́ àti gáàsì bá wà nínú yàrá náà, agbára ìdarí kan máa ń wáyé láàrín àwọn ọkọ̀ ojú omi méjèèjì. Ìdarí ìmọ́lẹ̀ náà lè fọ́ gáàsì SiH4 àti NH3 nínú ààyè náà, ó lè ṣẹ̀dá àwọn ions Si àti N, ó sì lè para pọ̀ láti ṣẹ̀dá àwọn molecule SiNx. A gbé e kalẹ̀ sórí ilẹ̀wafer silikoniláti ṣe àṣeyọrí ète ìbòrí. Gẹ́gẹ́ bí olùgbé ìbòrí sẹ́ẹ̀lì oòrùn tí ó ń dènà ìyípadà, ìṣètò àti ìwọ̀n ọkọ̀ ojú omi graphite ní ipa tààrà lórí ìyípadà àti ìṣiṣẹ́ ìṣiṣẹ́ ti wafer silicon.

Kí ló dé tí o fi yan VET Energy?

Gẹ́gẹ́ bí olórí orílẹ̀-èdè ChinaỌkọ̀ ojú omi PECVD graphiteOlùpèsè àti olùpèsè, lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ọdún ìwádìí àti ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ, VET Energy ti ní àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá tó ti ní ìlọsíwájú tó jọ Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, àwọn apẹ̀rẹ ìmọ̀-ẹ̀rọ tó ti dàgbà àti àwọn òṣìṣẹ́ ìṣẹ̀dá tó ní ìrírí, gbogbo àwọn ohun èlò náà sì jẹ́ àwọn ohun èlò aise tí wọ́n kó wọlé.

Lọ́wọ́lọ́wọ́, àwọn ọkọ̀ ojú omi graphite tí ilé-iṣẹ́ wa ṣe ní àwọn ànímọ́ iṣẹ́ gíráfìtì gíga àti ìṣètò tí ó péye. Àti pé àyè àwọn ọkọ̀ ojú omi graphite tí a ṣe jẹ́ èyí tí ó bójú mu, kí ìbòrí silicon wafer bá ara wọn mu, kí dídára silicon wafer bá ara wọn mu ní gbogbo apá, kí agbára ìyípadà agbára oòrùn sì túbọ̀ sunwọ̀n sí i. Èyí tí ó ṣe pàtàkì jùlọ ni pé, VET Energy lè ṣe àwòrán àti ṣe gbogbo onírúurú ọkọ̀ ojú omi graphite tí ọjà ìsinsìnyí nílò, kí ó sì ṣètìlẹ́yìn fún àwọn ọjà àti iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ tí a ṣe àdáni, èyí tí ó lè bá àwọn àìní ọjà ọkọ̀ ojú omi graphite PECVD tí a ṣe àdáni rẹ mu dájúdájú.

Ọkọ̀ ojú omi PECVD Graphite tó ga jùlọ fún Pánẹ́lì oòrùn