Ano ang tungkulin ng bangkang grapayt na PECVD? | VET Energy

Materyal at istruktura ng bangkang grapayt

Ang Graphite Boat ay isang kagamitan sa pagproseso na may mataas na temperatura, na karaniwang gawa sa materyal na grapayt na may mataas na kadalisayan at tinatrato gamit ang SiC (silicon carbide) o TaC (tantalum carbide) na patong sa ibabaw upang mapabuti ang resistensya sa oksihenasyon, resistensya sa kalawang, at buhay ng serbisyo ng pangkalahatang kagamitan.

Sa industriyal na pagmamanupaktura,mga bangkang grapaytay karaniwang ginagamit bilang mga tagadala para sa mga kumbensyonal na silicon wafer sa produksyon ng proseso ng patong. Ang istraktura ay may maraming bangka na may isang tiyak na pagitan. Mayroong napakakitid na espasyo sa pagitan ng dalawang magkatabing bangka, at ang mga silicon wafer ay inilalagay sa magkabilang gilid ng bakanteng pinto.

Prinsipyo ng pagpapatakbo ng bangkang grapayt

Dahil ang graphite, ang materyal ng graphite boat, ay may mahusay na conductivity at thermal conductivity, isang AC voltage ang inilalapat sa pagitan ng dalawang magkatabing bangka upang bumuo ng positibo at negatibong mga electrode. Kapag mayroong isang tiyak na presyon ng hangin at gas sa chamber, isang glow discharge ang nangyayari sa pagitan ng dalawang bangka. Ang glow discharge ay maaaring magbulok ng SiH4 at NH3 gas sa espasyo, bumuo ng Si at N ions, at magsasama upang bumuo ng mga molekula ng SiNx. Ito ay idineposito sa ibabaw ngwafer na silikonupang makamit ang layunin ng patong. Bilang tagapagdala ng solar cell antireflection coating, ang istraktura at laki ng graphite boat ay direktang nakakaapekto sa kahusayan ng conversion at kahusayan ng produksyon ng silicon wafer.

Bakit pipiliin ang VET Energy?

Bilang nangunguna sa TsinaBangka ng grapayt ng PECVDtagagawa at tagapagtustos, pagkatapos ng mga taon ng teknikal na pananaliksik at pag-unlad, ang VET Energy ngayon ay mayroon nang mga advanced na kagamitan sa produksyon na maihahambing sa Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, mga mahuhusay na teknikal na taga-disenyo at mga bihasang tauhan sa produksyon, at lahat ng materyales ay mga inangkat na hilaw na materyales.

Sa kasalukuyan, ang mga bangkang grapayt na ginawa ng aming kumpanya ay may mga katangian ng mataas na kahusayan at tumpak na istraktura. At ang pagitan ng mga dinisenyong bangkang grapayt ay makatwiran, kaya't ang patong ng silicon wafer ay pare-pareho, ang kalidad ng silicon wafer ay napabuti sa lahat ng aspeto, at ang kahusayan sa conversion ng solar energy ay lubos na napabuti. Higit sa lahat, ang VET Energy ay maaaring magdisenyo at gumawa ng lahat ng uri ng mga bangkang grapayt na kinakailangan ng kasalukuyang merkado, at suportahan ang mga pasadyang produkto at teknikal na serbisyo, na tiyak na makakatugon sa iyong iba't ibang mga pangangailangan sa pasadyang produkto ng bangkang grapayt ng PECVD.

Mataas na Kadalisayan na PECVD Graphite Boat para sa Solar Panel