Գրաֆիտային նավակի նյութը և կառուցվածքը
Գրաֆիտային նավակը բարձր ջերմաստիճանի մշակման սարքավորում է, որը սովորաբար պատրաստված է բարձր մաքրության գրաֆիտային նյութից և մշակվում է SiC (սիլիցիումի կարբիդ) կամ TaC (տանտալի կարբիդ) ծածկույթով մակերեսով՝ սարքավորումների ընդհանուր օքսիդացման դիմադրությունը, կոռոզիոն դիմադրությունը և ծառայության ժամկետը բարելավելու համար:
Արդյունաբերական արտադրության մեջ,գրաֆիտային նավակներսովորաբար օգտագործվում են որպես կրողներ ավանդական սիլիցիումային վաֆլիների համար ծածկույթների արտադրության գործընթացում: Կառուցվածքն ունի բազմաթիվ նավակներ՝ որոշակի ընդմիջումներով: Երկու հարակից նավակների միջև կա շատ նեղ տարածություն, և սիլիցիումային վաֆլիները տեղադրված են դատարկ դռան երկու կողմերում:
Գրաֆիտային նավակի շահագործման սկզբունքը
Քանի որ գրաֆիտը՝ գրաֆիտային նավակի նյութը, ունի լավ հաղորդականություն և ջերմահաղորդականություն, երկու հարակից նավակների միջև կիրառվում է փոփոխական հոսանքի լարում՝ դրական և բացասական էլեկտրոդներ ձևավորելու համար։ Երբ խցիկում կա որոշակի օդային ճնշում և գազ, երկու նավակների միջև տեղի է ունենում լուսարձակում։ Լուսարձակումը կարող է քայքայել SiH4 և NH3 գազերը տարածության մեջ, առաջացնել Si և N իոններ և միանալ՝ առաջացնելով SiNx մոլեկուլներ։ Այն նստվածք է տալիս...սիլիկոնային թիթեղծածկույթի նպատակին հասնելու համար: Որպես արեգակնային մարտկոցի հակաանդրադարձային ծածկույթի կրող, գրաֆիտային նավակի կառուցվածքը և չափը անմիջականորեն ազդում են սիլիկոնային վաֆլի փոխակերպման արդյունավետության և արտադրության արդյունավետության վրա:
Ինչո՞ւ ընտրել VET Energy-ն։
Որպես Չինաստանի առաջատարPECVD գրաֆիտային նավակԱրտադրող և մատակարար, տարիների տեխնիկական հետազոտությունների և մշակումների արդյունքում, VET Energy-ն այժմ ունի առաջադեմ արտադրական սարքավորումներ, որոնք համեմատելի են Toyo Tanso-ի, SGL Carbon-ի, Mersen-ի հետ, հասուն տեխնիկական դիզայներներ և փորձառու արտադրական անձնակազմ, և բոլոր նյութերը ներմուծված հումք են։
Ներկայումս մեր ընկերության կողմից արտադրվող գրաֆիտային նավակները ունեն բարձր արդյունավետության և ճշգրիտ կառուցվածքի բնութագրեր: Եվ նախագծված գրաֆիտային նավակների միջև հեռավորությունը ողջամիտ է, որպեսզի սիլիկոնային վաֆլիի ծածկույթը միատարր լինի, սիլիկոնային վաֆլիի որակը բարելավվի բոլոր առումներով, և արևային էներգիայի փոխակերպման արդյունավետությունը զգալիորեն բարելավվի: Ավելի կարևոր է, որ VET Energy-ն կարող է նախագծել և արտադրել ներկայիս շուկայի կողմից պահանջվող բոլոր տեսակի գրաֆիտային նավակներ և աջակցել անհատականացված արտադրանքի և տեխնիկական ծառայությունների, որոնք անկասկած կարող են բավարարել ձեր PECVD գրաֆիտային նավակների տարբեր անհատականացված կարիքները:
Բարձր մաքրության PECVD գրաֆիտային նավակ արևային վահանակի համար
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլ-08-2021