Ո՞րն է PECVD գրաֆիտային նավակի գործառույթը:

Որպես սովորական սիլիցիումային վաֆլի կրող՝ ծածկույթների արտադրության գործընթացում,գրաֆիտային նավակունի բազմաթիվ նավակային վաֆլիներ՝ կառուցվածքում որոշակի ընդմիջումով, և կա շատ նեղ տարածություն երկու հարակից նավակների վաֆլիների միջև, և սիլիկոնային վաֆլիները տեղադրված են դատարկ դռան երկու կողմերում:

Քանի որ գրաֆիտը՝ գրաֆիտային նավակի նյութը, ունի լավ հաղորդունակություն և ջերմային հաղորդունակություն, AC լարումը կիրառվում է երկու հարակից նավակների միջև՝ ձևավորելու դրական և բացասական էլեկտրոդներ:Երբ խցիկում որոշակի օդի ճնշում և գազ կա, երկու նավակների միջև տեղի է ունենում շողացող արտահոսք:Պայծառ արտանետումը կարող է տարածության մեջ քայքայել SiH4 և NH3 գազերը, ձևավորել Si և N իոններ և միավորվել՝ առաջացնելով SiNx մոլեկուլներ: Այն պահվում է սիլիցիումի վաֆլի մակերեսին՝ ծածկելու նպատակին հասնելու համար:

Որպես արևային բջիջների հակաարտացոլման ծածկույթի կրող, գրաֆիտային նավակի կառուցվածքը և չափը ուղղակիորեն ազդում են սիլիկոնային վաֆլի փոխակերպման և արտադրության արդյունավետության վրա:Տարիներ շարունակ տեխնիկական հետազոտություններից և զարգացումից հետո մեր ընկերությունն այժմ ունի առաջադեմ արտադրական սարքավորումներ, հասուն տեխնոլոգիական դիզայներներ և փորձառու արտադրական անձնակազմ, իսկ նյութերը ներմուծվող հումք են:Ներկայումս մեր ընկերության կողմից արտադրվող գրաֆիտային նավակն ունի բարձր արդյունավետության առավելությունները: Կառուցվածքը պարզ է, իսկ գրաֆիտի նավակի միջև հեռավորությունը խելամիտ է, ինչը դարձնում է սիլիկոնային վաֆլի ծածկույթը միատեսակ, բարելավում է սիլիկոնային վաֆլի որակը և դարձնում արևային էներգիայի փոխակերպման բարձր արդյունավետություն:Shijin ընկերությունն ունի բոլոր տեսակի թանաքային նավակներ, որոնք այժմ կարիք ունեն շուկային

21


Հրապարակման ժամանակը՝ Ապրիլ-08-2021
WhatsApp առցանց զրույց!