Bahan dan struktur bot grafit
Bot Grafit ialah peralatan proses suhu tinggi, yang biasanya diperbuat daripada bahan grafit ketulenan tinggi dan dirawat dengan permukaan salutan SiC (silikon karbida) atau TaC (tantalum karbida) untuk meningkatkan rintangan pengoksidaan, rintangan kakisan dan hayat perkhidmatan keseluruhan peralatan.
Dalam pembuatan perindustrian,bot grafitbiasanya digunakan sebagai pembawa untuk wafer silikon konvensional dalam pengeluaran proses salutan. Struktur ini mempunyai banyak bot dengan selang masa tertentu. Terdapat ruang yang sangat sempit antara dua bot bersebelahan, dan wafer silikon diletakkan di kedua-dua belah pintu kosong.
Prinsip kerja bot grafit
Oleh kerana grafit, bahan bot grafit, mempunyai kekonduksian dan kekonduksian terma yang baik, voltan AC dikenakan di antara dua bot bersebelahan untuk membentuk elektrod positif dan negatif. Apabila terdapat tekanan udara dan gas tertentu di dalam ruang, nyahcas cahaya berlaku di antara kedua-dua bot. Nyahcas cahaya boleh menguraikan gas SiH4 dan NH3 di dalam ruang, membentuk ion Si dan N, dan bergabung untuk membentuk molekul SiNx. Ia termendap di permukaanwafer silikonuntuk mencapai tujuan salutan. Sebagai pembawa salutan antipantulan sel suria, struktur dan saiz bot grafit secara langsung mempengaruhi kecekapan penukaran dan kecekapan pengeluaran wafer silikon.
Mengapa memilih VET Energy?
Sebagai peneraju ChinaBot grafit PECVDpengeluar dan pembekal, selepas bertahun-tahun menjalankan penyelidikan dan pembangunan teknikal, VET Energy kini mempunyai peralatan pengeluaran canggih yang setanding dengan Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, pereka teknikal matang dan kakitangan pengeluaran yang berpengalaman, dan semua bahan adalah bahan mentah yang diimport.
Pada masa ini, bot grafit yang dihasilkan oleh syarikat kami mempunyai ciri-ciri kecekapan tinggi dan struktur yang tepat. Dan jarak bot grafit yang direka bentuk adalah munasabah, supaya salutan wafer silikon seragam, kualiti wafer silikon dipertingkatkan dalam semua aspek, dan kecekapan penukaran tenaga solar dipertingkatkan dengan ketara. Lebih penting lagi, VET Energy boleh mereka bentuk dan menghasilkan semua jenis bot grafit yang diperlukan oleh pasaran semasa, dan menyokong produk dan perkhidmatan teknikal yang disesuaikan, yang pasti dapat memenuhi pelbagai keperluan produk bot grafit PECVD tersuai anda.
Bot Grafit PECVD Ketulenan Tinggi untuk Panel Suria
Masa siaran: 8-Apr-2021