Hva er funksjonen til PECVD-grafittbåten? | VET Energy

Materiale og struktur av grafittbåt

Grafittbåt er et prosessutstyr for høy temperatur, som vanligvis er laget av grafittmateriale med høy renhet og behandlet med et belegg på overflaten SiC (silisiumkarbid) eller TaC (tantalkarbid) for å forbedre det totale utstyrets oksidasjonsmotstand, korrosjonsmotstand og levetid.

I industriell produksjon,grafittbåterbrukes vanligvis som bærere for konvensjonelle silisiumskiver i beleggproduksjon. Strukturen har mange båter med et visst mellomrom. Det er et veldig smalt mellomrom mellom to tilstøtende båter, og silisiumskivene er plassert på begge sider av den tomme døren.

Arbeidsprinsippet til grafittbåten

Fordi grafitt, materialet i grafittbåten, har god ledningsevne og varmeledningsevne, påføres en vekselspenning mellom to tilstøtende båter for å danne positive og negative elektroder. Når det er et visst lufttrykk og gass i kammeret, oppstår en glødeutladning mellom de to båtene. Glødeutladningen kan dekomponere SiH4- og NH3-gass i rommet, danne Si- og N-ioner, og kombineres for å danne SiNx-molekyler. Den avsettes på overflaten avsilisiumskivefor å oppnå formålet med belegget. Som bærer av solcelle-antirefleksjonsbelegg påvirker strukturen og størrelsen på grafittbåten direkte konverteringseffektiviteten og produksjonseffektiviteten til silisiumskiven.

Hvorfor velge VET Energy?

Som Kinas ledendePECVD grafittbåtprodusent og leverandør, etter år med teknisk forskning og utvikling, har VET Energy nå avansert produksjonsutstyr som kan sammenlignes med Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, modne tekniske designere og erfarent produksjonspersonell, og alle materialer er importerte råvarer.

For tiden har grafittbåtene som produseres av vårt firma kjennetegn ved høy effektivitet og presis struktur. Avstanden mellom de designede grafittbåtene er rimelig, slik at silisiumskivens belegg er jevnt, kvaliteten på silisiumskiven forbedres på alle måter, og effektiviteten til solenergikonvertering forbedres betraktelig. Enda viktigere er det at VET Energy kan designe og produsere alle typer grafittbåter som kreves av dagens marked, og støtte tilpassede produkter og tekniske tjenester, som definitivt kan møte dine ulike behov for tilpassede PECVD-grafittbåtprodukter.

Høy renhetsgrad PECVD grafittbåt for solcellepanel