เรือกราไฟท์ PECVD มีหน้าที่อะไร?

ในฐานะผู้ให้บริการของเวเฟอร์ซิลิคอนปกติในการผลิตกระบวนการเคลือบเรือกราไฟท์มีเวเฟอร์เรือจำนวนมากที่มีช่วงเวลาหนึ่งในโครงสร้าง และมีช่องว่างแคบมากระหว่างเวเฟอร์เรือสองอันที่อยู่ติดกัน และเวเฟอร์ซิลิคอนจะถูกวางไว้ทั้งสองด้านของประตูที่ว่างเปล่า

เนื่องจากกราไฟท์ซึ่งเป็นวัสดุของกราไฟท์โบ๊ท มีค่าการนำไฟฟ้าและการนำความร้อนที่ดี แรงดันไฟฟ้ากระแสสลับจึงถูกใช้ระหว่างเรือสองลำที่อยู่ติดกันเพื่อสร้างอิเล็กโทรดบวกและลบเมื่อมีความกดอากาศและก๊าซอยู่ในห้องเพาะเลี้ยง จะเกิดการปล่อยแสงออกมาระหว่างเรือทั้งสองลำการปล่อยแสงสามารถสลายก๊าซ SiH4 และ NH3 ในอวกาศ สร้างไอออน Si และ N และรวมกันเป็นโมเลกุล SiNx โดยจะสะสมอยู่บนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการเคลือบ

ในฐานะพาหะของการเคลือบป้องกันการสะท้อนแสงของเซลล์แสงอาทิตย์ โครงสร้างและขนาดของเรือกราไฟท์ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพการแปลงและประสิทธิภาพการผลิตของเวเฟอร์ซิลิคอนหลังจากหลายปีของการวิจัยและพัฒนาทางเทคนิค ปัจจุบันบริษัทของเรามีอุปกรณ์การผลิตขั้นสูง นักออกแบบเทคโนโลยีที่เป็นผู้ใหญ่ และพนักงานฝ่ายผลิตที่มีประสบการณ์ และวัสดุที่เป็นวัตถุดิบนำเข้าปัจจุบันเรือกราไฟท์ที่ผลิตโดยบริษัทของเรามีข้อดีคือมีประสิทธิภาพสูง โครงสร้างนั้นเรียบง่ายและระยะห่างระหว่างเรือกราไฟท์ก็สมเหตุสมผล ซึ่งทำให้การเคลือบชุดเวเฟอร์ซิลิคอนสม่ำเสมอ ปรับปรุงคุณภาพของเวเฟอร์ซิลิคอน และทำให้ ประสิทธิภาพการแปลงพลังงานแสงอาทิตย์สูงบริษัท Shijin มีเรือหมึกทุกชนิดที่ตลาดต้องการในขณะนี้

21


เวลาโพสต์: Apr-08-2021
แชทออนไลน์ WhatsApp!