หน้าที่ของเรือกราไฟต์ PECVD คืออะไร? | VET Energy

 

วัสดุและโครงสร้างของเรือกราไฟต์

 

เรือกราไฟต์เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในกระบวนการผลิตที่อุณหภูมิสูง ซึ่งโดยทั่วไปทำจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูง และเคลือบผิวด้วย SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) หรือ TaC (แทนทาลัมคาร์ไบด์) เพื่อเพิ่มความต้านทานต่อการออกซิเดชัน ความต้านทานต่อการกัดกร่อน และอายุการใช้งานโดยรวมของอุปกรณ์

 

ในการผลิตภาคอุตสาหกรรมเรือกราไฟต์โดยทั่วไปแล้วจะใช้เป็นตัวรองรับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนแบบดั้งเดิมในกระบวนการผลิตเคลือบผิว โครงสร้างประกอบด้วยช่องหลายช่องที่มีระยะห่างที่แน่นอน มีช่องว่างแคบมากระหว่างช่องที่อยู่ติดกัน และแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนจะถูกวางไว้ทั้งสองด้านของช่องที่ว่างอยู่

หลักการทำงานของเรือกราไฟต์

 

เนื่องจากกราไฟต์ซึ่งเป็นวัสดุของเรือกราไฟต์ มีคุณสมบัติการนำไฟฟ้าและการนำความร้อนที่ดี จึงมีการใช้แรงดันไฟฟ้ากระแสสลับระหว่างเรือสองลำที่อยู่ติดกันเพื่อสร้างขั้วบวกและขั้วลบ เมื่อมีแรงดันอากาศและก๊าซในห้องที่เหมาะสม จะเกิดการปล่อยประจุเรืองแสงขึ้นระหว่างเรือทั้งสองลำ การปล่อยประจุเรืองแสงนี้สามารถสลายก๊าซ SiH4 และ NH3 ในช่องว่าง ก่อให้เกิดไอออน Si และ N และรวมตัวกันเพื่อสร้างโมเลกุล SiNx ซึ่งจะตกตะกอนอยู่บนพื้นผิวของเรือแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ของการเคลือบผิว โครงสร้างและขนาดของแผ่นกราไฟต์ซึ่งเป็นตัวนำสารเคลือบป้องกันการสะท้อนแสงสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์นั้น ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพการแปลงพลังงานและประสิทธิภาพการผลิตของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน

 

ทำไมถึงควรเลือก VET Energy?

 

ในฐานะผู้นำของจีนเรือกราไฟต์ PECVDผู้ผลิตและผู้จำหน่าย หลังจากทำการวิจัยและพัฒนาทางเทคนิคมาหลายปี ปัจจุบัน VET Energy มีอุปกรณ์การผลิตที่ทันสมัยเทียบเท่ากับ Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen มีทีมออกแบบทางเทคนิคที่เชี่ยวชาญ และบุคลากรด้านการผลิตที่มีประสบการณ์ โดยวัสดุทั้งหมดเป็นวัตถุดิบนำเข้า

 

ปัจจุบัน เรือกราไฟต์ที่ผลิตโดยบริษัทของเรามีคุณสมบัติเด่นคือประสิทธิภาพสูงและโครงสร้างที่แม่นยำ และระยะห่างของเรือกราไฟต์ที่ออกแบบนั้นเหมาะสม ทำให้การเคลือบแผ่นซิลิคอนมีความสม่ำเสมอ คุณภาพของแผ่นซิลิคอนดีขึ้นในทุกด้าน และประสิทธิภาพการแปลงพลังงานแสงอาทิตย์ดีขึ้นอย่างมาก ที่สำคัญกว่านั้น VET Energy สามารถออกแบบและผลิตเรือกราไฟต์ทุกชนิดที่ตลาดปัจจุบันต้องการ และสนับสนุนผลิตภัณฑ์ที่ปรับแต่งได้และบริการทางเทคนิค ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการผลิตภัณฑ์เรือกราไฟต์ PECVD ที่ปรับแต่งได้หลากหลายของคุณได้อย่างแน่นอน

 

เรือกราไฟต์ PECVD

เรือกราไฟต์ PECVD ความบริสุทธิ์สูงสำหรับแผงโซลาร์เซลล์


วันที่โพสต์: 8 เมษายน 2564
แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!