O le ā le galuega a le va'a karapite PECVD? | VET Malosiaga

Meafaitino ma fausaga o le va'a karapite

O le Va'a Graphite o se meafaigaluega fa'agasologa vevela maualuga, e masani ona faia i le mea graphite mama maualuga ma togafitia i le SiC (silicon carbide) po'o le TaC (tantalum carbide) e ufiufi ai le mea e fa'aleleia atili ai le tete'e atu i le oxidation, tete'e atu i le ele ma le umi e fa'aaoga ai.

I le gaosiga fa'apisinisi,va'a karapitee masani ona faʻaaogaina o ni avega mo ni silicon wafers masani i le gaosiga o le faagasologa o le ufiufi. O le fausaga e tele vaʻa e iai se vaeluaga patino. E iai se avanoa vaapiapi tele i le va o vaʻa e lua e tuaoi, ma o silicon wafers e tuʻu i itu uma e lua o le faitotoʻa gaogao.

Mataupu faavae o le fa'agaoioiga o le va'a karapite

Ona o le graphite, o le mea e fai ai le va'a graphite, e lelei lona conductivity ma le thermal conductivity, e fa'aogaina ai se voltage AC i le va o va'a e lua e tuaoi e fausia ai ni electrodes lelei ma ni electrodes leaga. A iai se mamafa o le ea ma le kesi i totonu o le potu, e tupu ai se glow discharge i le va o va'a e lua. E mafai e le glow discharge ona fa'aleagaina le kesi SiH4 ma le NH3 i le avanoa, fausia ai ni Si ma ni ion N, ma tu'ufa'atasia e fausia ai ni mole mole SiNx. E fa'aputuina i luga o le fogā'ele'ele o leapa siliconina ia ausia le faʻamoemoega o le ufiufi. I le avea ai ma se avefeʻau o le ufiufi e teteʻe atu i le atagia o le sela o le la, o le fausaga ma le telē o le vaʻa graphite e aʻafia saʻo ai le lelei o le liua ma le lelei o le gaosiga o le silicon wafer.

Aiseā e filifili ai le VET Energy?

I le avea ai ma taʻimua a SainaVa'a karapite PECVDkamupani gaosi oloa ma le kamupani sapalai, ina ua mavae tausaga o suʻesuʻega ma atinaʻe faʻapitoa, ua i ai nei i le VET Energy ni meafaigaluega gaosiga faʻaonaponei e tutusa ma le Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, o tagata mamanu faʻapitoa matutua ma tagata faigaluega gaosiga e iai le poto masani, ma o meafaitino uma lava o mea mata mai fafo.

I le taimi nei, o va'a karapite o lo'o gaosia e la matou kamupani e iai uiga o le lelei tele ma le sa'o o le fausaga. Ma o le va o va'a karapite ua mamanuina e talafeagai, ina ia tutusa le ufiufi o le silicon wafer, fa'aleleia atili le lelei o le silicon wafer i itu uma, ma fa'aleleia atili ai le lelei o le liua o le malosi o le la. O le mea e sili ona taua, e mafai e le VET Energy ona mamanuina ma gaosia ituaiga uma o va'a karapite e mana'omia e le maketi i le taimi nei, ma lagolagoina oloa fa'apitoa ma auaunaga fa'apitoa, lea e mautinoa lava e mafai ona fa'afetaui ai au mana'oga eseese o oloa va'a karapite PECVD fa'apitoa.

Va'a Graphite PECVD Mama Maualuga mo Panela o le La