Material e estrutura de um barco de grafite
O barco de grafite é um equipamento para processos de alta temperatura, geralmente feito de grafite de alta pureza e tratado com revestimento de SiC (carboneto de silício) ou TaC (carboneto de tântalo) para melhorar a resistência à oxidação, à corrosão e a vida útil do equipamento.
Na indústria de manufatura,barcos de grafiteGeralmente são utilizadas como suportes para wafers de silício convencionais em processos de revestimento. A estrutura possui várias cavidades com um determinado intervalo. Há um espaço muito estreito entre duas cavidades adjacentes, e os wafers de silício são colocados em ambos os lados da abertura vazia.
Princípio de funcionamento de um barco de grafite
Como o grafite, material do barco de grafite, possui boa condutividade térmica e condutividade elétrica, uma tensão CA é aplicada entre dois barcos adjacentes para formar eletrodos positivo e negativo. Quando há uma certa pressão de ar e gás na câmara, ocorre uma descarga luminosa entre os dois barcos. A descarga luminosa pode decompor o SiH4 e o gás NH3 no espaço, formando íons Si e N, que se combinam para formar moléculas de SiNx, as quais são depositadas na superfície do barco.pastilha de silícioPara atingir o objetivo do revestimento, a estrutura e o tamanho da lamínula de grafite, que serve como suporte para o revestimento antirreflexo de células solares, afetam diretamente a eficiência de conversão e a eficiência de produção da pastilha de silício.
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Atualmente, os barcos de grafite produzidos pela nossa empresa apresentam alta eficiência e estrutura precisa. O espaçamento entre os barcos de grafite projetados é otimizado, garantindo um revestimento uniforme da pastilha de silício, melhorando a qualidade da pastilha em todos os aspectos e aumentando significativamente a eficiência de conversão de energia solar. Além disso, a VET Energy pode projetar e produzir todos os tipos de barcos de grafite exigidos pelo mercado atual, oferecendo suporte a produtos personalizados e serviços técnicos, atendendo certamente às suas diversas necessidades de barcos de grafite PECVD personalizados.
Barco de grafite PECVD de alta pureza para painel solar
Data da publicação: 08/04/2021