Beth yw swyddogaeth cwch graffit PECVD?

Fel cludwr wafferi silicon arferol wrth gynhyrchu proses cotio, mae'rcwch graffitmae gan lawer o wafferi cychod gyda chyfnod penodol yn y strwythur, ac mae gofod cul iawn rhwng dwy wafferi cychod cyfagos, a gosodir wafferi silicon ar ddwy ochr y drws gwag.

Oherwydd bod gan graffit, deunydd y cwch graffit, ddargludedd da a dargludedd thermol, mae foltedd AC yn cael ei gymhwyso rhwng dau gwch cyfagos i ffurfio electrodau positif a negyddol.Pan fo pwysedd aer a nwy penodol yn y siambr, mae gollyngiad glow yn digwydd rhwng y ddau gwch.Gall y gollyngiad glow ddadelfennu nwy SiH4 a NH3 yn y gofod, ffurfio ïonau Si a N, a chyfuno i ffurfio moleciwlau SiNx Mae'n cael ei adneuo ar wyneb wafer silicon i gyflawni pwrpas cotio.

Fel cludwr cotio antireflection celloedd solar, mae strwythur a maint cwch graffit yn effeithio'n uniongyrchol ar effeithlonrwydd trosi ac effeithlonrwydd cynhyrchu wafer silicon.Ar ôl blynyddoedd o ymchwil a datblygu technegol, mae gan ein cwmni bellach offer cynhyrchu uwch, dylunwyr technoleg aeddfed a staff cynhyrchu profiadol, ac mae'r deunyddiau'n ddeunyddiau crai wedi'u mewnforio.Ar hyn o bryd, mae gan y cwch graffit a weithgynhyrchir gan ein cwmni fanteision effeithlonrwydd uchel Mae'r strwythur yn syml ac mae'r pellter rhwng y cwch graffit yn rhesymol, sy'n gwneud gorchudd y wafer silicon yn unffurf, yn gwella ansawdd y wafer silicon, ac yn gwneud effeithlonrwydd trosi ynni solar yn uchel.Mae gan gwmni Shijin bob math o gychod inc sydd eu hangen ar y farchnad nawr

21


Amser post: Ebrill-08-2021
Sgwrs WhatsApp Ar-lein!