Aká je funkcia grafitového člna PECVD?

Ako nosič normálnych kremíkových plátkov pri výrobe povlakového procesu,grafitový člnmá veľa člnových plátkov s určitým intervalom v štruktúre a medzi dvoma susednými člnovými plátkami je veľmi úzky priestor a kremíkové plátky sú umiestnené na oboch stranách prázdnych dverí.

Pretože grafit, materiál grafitového člna, má dobrú vodivosť a tepelnú vodivosť, medzi dve susedné člny sa privádza striedavé napätie na vytvorenie kladných a záporných elektród.Keď je v komore určitý tlak vzduchu a plynu, medzi oboma člnmi sa objaví žeravý výboj.Žiarivý výboj môže v priestore rozkladať plynný SiH4 a NH3, vytvárať ióny Si a N a spájať sa za vzniku molekúl SiNx. Ukladá sa na povrch kremíkového plátku, aby sa dosiahol účel povlaku.

Ako nosič antireflexného povlaku solárnych článkov štruktúra a veľkosť grafitového člna priamo ovplyvňuje účinnosť konverzie a účinnosť výroby kremíkového plátku.Po rokoch technického výskumu a vývoja má naša spoločnosť teraz moderné výrobné zariadenia, vyspelých technologických dizajnérov a skúsených výrobných zamestnancov a materiály sú dovážané suroviny.V súčasnosti má grafitový čln vyrábaný našou spoločnosťou výhody vysokej účinnosti. Štruktúra je jednoduchá a vzdialenosť medzi grafitovým člnom je primeraná, vďaka čomu je povlak kremíkového plátku rovnomerný, zlepšuje kvalitu kremíkového plátku a robí vysoká účinnosť premeny solárnej energie.Spoločnosť Shijin má všetky druhy atramentových lodí, ktoré teraz trh potrebuje

21


Čas odoslania: apríl-08-2021
WhatsApp online chat!