Material y estructura de la embarcación de grafito
La embarcación de grafito es un equipo de procesamiento de alta temperatura, que generalmente está hecho de material de grafito de alta pureza y tratado con un recubrimiento superficial de SiC (carburo de silicio) o TaC (carburo de tantalio) para mejorar la resistencia a la oxidación, la resistencia a la corrosión y la vida útil del equipo en general.
En la fabricación industrial,barcos de grafitoGeneralmente se utilizan como soportes para obleas de silicio convencionales en el proceso de recubrimiento. La estructura consta de varias plataformas con cierta separación entre sí. Existe un espacio muy estrecho entre plataformas adyacentes, y las obleas de silicio se colocan a ambos lados de la puerta vacía.
Principio de funcionamiento de una embarcación de grafito
Debido a que el grafito, el material de la barca de grafito, tiene buena conductividad y conductividad térmica, se aplica un voltaje de CA entre dos barcas adyacentes para formar electrodos positivos y negativos. Cuando hay cierta presión de aire y gas en la cámara, se produce una descarga luminiscente entre las dos barcas. La descarga luminiscente puede descomponer el SiH4 y el gas NH3 en el espacio, formar iones de Si y N, y combinarse para formar moléculas de SiNx que se depositan en la superficie deoblea de siliciopara lograr el propósito del recubrimiento. Como soporte del recubrimiento antirreflectante de la celda solar, la estructura y el tamaño de la barquilla de grafito afectan directamente la eficiencia de conversión y la eficiencia de producción de la oblea de silicio.
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Barcaza de grafito PECVD de alta pureza para paneles solares
Fecha de publicación: 8 de abril de 2021