جنس و ساختار قایق گرافیتی
قایق گرافیتی یک تجهیزات فرآیندی با دمای بالا است که معمولاً از مواد گرافیتی با خلوص بالا ساخته شده و با سطح پوشش داده شده با SiC (کاربید سیلیکون) یا TaC (کاربید تانتالوم) برای بهبود مقاومت در برابر اکسیداسیون، مقاومت در برابر خوردگی و عمر مفید کلی تجهیزات، پوشش داده میشود.
در تولید صنعتی،قایقهای گرافیتیمعمولاً به عنوان حامل برای ویفرهای سیلیکونی معمولی در تولید فرآیند پوشش استفاده میشوند. این ساختار دارای قایقهای زیادی با فاصله مشخص است. فضای بسیار باریکی بین دو قایق مجاور وجود دارد و ویفرهای سیلیکونی در دو طرف درب خالی قرار گرفتهاند.
اصل کار قایق گرافیتی
از آنجا که گرافیت، مادهی سازندهی قایق گرافیتی، رسانایی و رسانایی حرارتی خوبی دارد، یک ولتاژ AC بین دو قایق مجاور اعمال میشود تا الکترودهای مثبت و منفی تشکیل شوند. هنگامی که فشار هوا و گاز مشخصی در محفظه وجود داشته باشد، یک تخلیهی تابشی بین دو قایق رخ میدهد. تخلیهی تابشی میتواند گاز SiH4 و NH3 را در فضا تجزیه کند، یونهای Si و N را تشکیل دهد و با هم ترکیب شده و مولکولهای SiNx را تشکیل دهد. این مولکولها روی سطح قایق رسوب میکنند.ویفر سیلیکونیبرای دستیابی به هدف پوشش. به عنوان حامل پوشش ضد انعکاس سلول خورشیدی، ساختار و اندازه قایق گرافیتی به طور مستقیم بر راندمان تبدیل و راندمان تولید ویفر سیلیکونی تأثیر میگذارد.
چرا انرژی VET را انتخاب کنیم؟
به عنوان رهبر چینقایق گرافیتی PECVDشرکت VET Energy، تولیدکننده و تأمینکننده، پس از سالها تحقیق و توسعه فنی، اکنون تجهیزات تولیدی پیشرفتهای قابل مقایسه با Toyo Tanso، SGL Carbon، Mersen، طراحان فنی باتجربه و پرسنل تولید باتجربه دارد و تمام مواد اولیه، مواد اولیه وارداتی هستند.
در حال حاضر، قایقهای گرافیتی تولید شده توسط شرکت ما دارای ویژگیهای راندمان بالا و ساختار دقیق هستند. و فاصله قایقهای گرافیتی طراحی شده معقول است، به طوری که پوشش ویفر سیلیکونی یکنواخت است، کیفیت ویفر سیلیکونی از همه نظر بهبود یافته و راندمان تبدیل انرژی خورشیدی تا حد زیادی بهبود یافته است. مهمتر از همه، VET Energy میتواند انواع قایقهای گرافیتی مورد نیاز بازار فعلی را طراحی و تولید کند و از محصولات سفارشی و خدمات فنی پشتیبانی کند که قطعاً میتواند نیازهای مختلف محصول قایق گرافیتی PECVD سفارشی شما را برآورده کند.
قایق گرافیتی PECVD با خلوص بالا برای پنل خورشیدی
زمان ارسال: آوریل-08-2021