عملکرد قایق گرافیتی PECVD چیست؟

به عنوان حامل ویفرهای سیلیکونی معمولی در تولید فرآیند پوشش،قایق گرافیتیویفرهای قایق زیادی با فواصل مشخص در ساختار دارد و بین دو ویفر قایق مجاور هم فضای بسیار باریکی وجود دارد و در دو طرف درب خالی ویفرهای سیلیکونی قرار داده شده است.

از آنجایی که گرافیت، ماده قایق گرافیتی، رسانایی و هدایت حرارتی خوبی دارد، ولتاژ AC بین دو قایق مجاور اعمال می شود تا الکترودهای مثبت و منفی تشکیل شود.هنگامی که فشار هوا و گاز معینی در محفظه وجود دارد، تخلیه درخششی بین دو قایق رخ می دهد.تخلیه درخشان می تواند گاز SiH4 و NH3 را در فضا تجزیه کند، یون های Si و N را تشکیل دهد و برای تشکیل مولکول های SiNx ترکیب شود و برای رسیدن به هدف پوشش روی سطح ویفر سیلیکونی رسوب می کند.

به عنوان یک حامل پوشش ضد انعکاس سلول خورشیدی، ساختار و اندازه قایق گرافیتی به طور مستقیم بر راندمان تبدیل و راندمان تولید ویفر سیلیکونی تأثیر می گذارد.پس از سال ها تحقیق و توسعه فنی، شرکت ما اکنون دارای تجهیزات تولید پیشرفته، طراحان فن آوری بالغ و کارکنان تولید با تجربه است و مواد، مواد اولیه وارداتی هستند.در حال حاضر، قایق گرافیتی تولید شده توسط شرکت ما دارای مزایای بازده بالا است، ساختار ساده و فاصله بین قایق گرافیتی مناسب است که باعث یکنواختی پوشش ویفر سیلیکونی، بهبود کیفیت ویفر سیلیکونی و راندمان تبدیل انرژی خورشیدی بالا است.شرکت شیجین دارای انواع قایق های جوهرافشان است که هم اکنون بازار به آنها نیاز دارد

21


زمان ارسال: آوریل-08-2021
چت آنلاین واتس اپ!