Материал и конструкция графитовой лодки
Графитовая лодка — это высокотемпературное технологическое оборудование, которое обычно изготавливается из высокочистого графита и обрабатывается поверхностным покрытием из SiC (карбида кремния) или TaC (карбида тантала) для повышения общей стойкости к окислению, коррозии и срока службы оборудования.
В промышленном производстве,графитовые лодкиОбычно они используются в качестве подложек для обычных кремниевых пластин в процессе нанесения покрытий. Конструкция состоит из множества лодочек с определенным интервалом. Между двумя соседними лодочками имеется очень узкое пространство, и кремниевые пластины размещаются по обе стороны от пустого пространства.
Принцип работы графитовой лодки
Поскольку графит, материал графитовой лодочки, обладает хорошей проводимостью и теплопроводностью, между двумя соседними лодочками подается переменное напряжение для образования положительного и отрицательного электродов. При определенном давлении воздуха и газа в камере между двумя лодочками возникает тлеющий разряд. Тлеющий разряд может разлагать газы SiH4 и NH3 в пространстве, образуя ионы Si и N, которые затем соединяются, образуя молекулы SiNx, осаждающиеся на поверхности.кремниевая пластинаДля достижения цели нанесения покрытия. В качестве носителя антиотражающего покрытия для солнечных элементов структура и размер графитовой лодочки напрямую влияют на эффективность преобразования и производительность кремниевой пластины.
Почему стоит выбрать VET Energy?
Будучи ведущим в Китаелодка из графита, полученного методом PECVDПроизводитель и поставщик, компания VET Energy, после многолетних технических исследований и разработок, теперь располагает передовым производственным оборудованием, сопоставимым с оборудованием Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, опытными техническими дизайнерами и квалифицированным производственным персоналом, а все используемые материалы являются импортным сырьем.
В настоящее время производимые нашей компанией графитовые лодки отличаются высокой эффективностью и точной конструкцией. Рациональное расположение графитовых лодок обеспечивает равномерное покрытие кремниевой пластины, улучшает качество кремниевой пластины по всем параметрам и значительно повышает эффективность преобразования солнечной энергии. Что еще более важно, компания VET Energy может проектировать и производить все виды графитовых лодок, востребованных на современном рынке, а также оказывать услуги по индивидуальному заказу и техническое обслуживание, что, безусловно, удовлетворит ваши разнообразные потребности в графитовых лодках, изготовленных методом PECVD.
Дата публикации: 08.04.2021
