Какова функция графитовой лодочки PECVD?

В качестве носителя обычных кремниевых пластин в процессе производства покрытия,графитовая лодкаимеет множество пластин-лодочек с определенным интервалом в структуре, между двумя соседними пластинами-лодочками очень узкое пространство, а кремниевые пластины расположены по обе стороны от пустой двери.

Поскольку графит, материал графитовой лодочки, обладает хорошей проводимостью и теплопроводностью, между двумя соседними лодочками подается переменное напряжение, образующее положительный и отрицательный электроды.При наличии в камере определенного давления воздуха и газа между двумя лодочками возникает тлеющий разряд.Тлеющий разряд может разлагать газы SiH4 и NH3 в пространстве, образовывать ионы Si и N и объединяться с образованием молекул SiNx. Он наносится на поверхность кремниевой пластины для достижения цели покрытия.

В качестве носителя просветляющего покрытия солнечных элементов структура и размер графитовой лодочки напрямую влияют на эффективность преобразования и эффективность производства кремниевой пластины.После многих лет технических исследований и разработок наша компания теперь имеет современное производственное оборудование, опытных дизайнеров-технологов и опытный производственный персонал, а материалы - импортное сырье.В настоящее время графитовая лодочка, производимая нашей компанией, обладает преимуществами высокой эффективности. Структура проста, а расстояние между графитовыми лодочками разумное, что делает покрытие кремниевой пластины однородным, улучшает качество кремниевой пластины и делает Высокая эффективность преобразования солнечной энергии.Компания Shijin предлагает все виды чернильных лодочек, которые сейчас нужны рынку.

21


Время публикации: 08 апреля 2021 г.
Онлайн-чат WhatsApp!