グラファイトボートの材質と構造
グラファイトボートは高温プロセス装置であり、通常は高純度グラファイト材料で作られ、表面処理としてSiC（炭化ケイ素）またはTaC（炭化タンタル）コーティングが施されており、装置全体の耐酸化性、耐腐食性、および耐用年数を向上させています。
工業製造業では、グラファイトボートこれらは通常、コーティング工程における従来のシリコンウェハの搬送装置として使用されます。構造は一定間隔で多数のボートが配置されており、隣接するボート間には非常に狭い空間があり、シリコンウェハは空いているドアの両側に配置されます。
グラファイトボートの動作原理
グラファイトボートの材料であるグラファイトは、優れた導電性と熱伝導性を持つため、隣接する2つのボート間に交流電圧を印加して正極と負極を形成します。チャンバー内に一定の空気圧とガスが存在すると、2つのボート間でグロー放電が発生します。グロー放電は、空間内のSiH4とNH3ガスを分解し、SiイオンとNイオンを生成し、これらが結合してSiNx分子を形成し、表面に堆積します。シリコンウェハーコーティングの目的を達成するため。太陽電池の反射防止コーティングのキャリアとして、グラファイトボートの構造とサイズは、シリコンウェーハの変換効率と生産効率に直接影響します。
VET Energyを選ぶ理由とは？
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現在、当社が製造するグラファイトボートは、高効率かつ精密な構造という特徴を備えています。また、設計されたグラファイトボートの間隔は合理的であるため、シリコンウェハーのコーティングが均一になり、シリコンウェハーの品質があらゆる面で向上し、太陽エネルギー変換効率が大幅に向上します。さらに重要なことに、VET Energyは現在の市場ニーズに対応したあらゆる種類のグラファイトボートを設計・製造でき、カスタマイズ製品や技術サービスもサポートしているため、お客様の多様なPECVDグラファイトボート製品ニーズに確実にお応えできます。
太陽電池パネル用高純度PECVDグラファイトボート
投稿日時：2021年4月8日