கிராஃபைட் படகின் பொருள் மற்றும் அமைப்பு
கிராஃபைட் போட் என்பது ஒரு உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை உபகரணமாகும். இது பொதுவாக உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் மூலப்பொருளால் செய்யப்பட்டு, அதன் ஒட்டுமொத்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சேவை ஆயுளை மேம்படுத்துவதற்காக SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) அல்லது TaC (டாண்டலம் கார்பைடு) பூச்சு மேற்பரப்பால் பதப்படுத்தப்படுகிறது.
தொழில்துறை உற்பத்தியில்,கிராஃபைட் படகுகள்பூச்சு செயல்முறை உற்பத்தியில், வழக்கமான சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கான தாங்கிகளாக இவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த அமைப்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட இடைவெளியில் பல படகுகள் உள்ளன. அருகருகே உள்ள இரண்டு படகுகளுக்கு இடையே மிகக் குறுகிய இடைவெளி உள்ளது, மேலும் அந்தக் காலிப் படகின் இருபுறமும் சிலிக்கான் வேஃபர்கள் வைக்கப்படுகின்றன.
கிராஃபைட் படகின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை
கிராஃபைட் படகின் மூலப்பொருளான கிராஃபைட்டிற்கு நல்ல கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்பக் கடத்துத்திறன் இருப்பதால், அருகருகே உள்ள இரண்டு படகுகளுக்கு இடையில் நேர்மின் மற்றும் எதிர்மின் முனைகளை உருவாக்க ஒரு மாறுதிசை மின்னழுத்தம் (AC voltage) செலுத்தப்படுகிறது. அறைக்குள் ஒரு குறிப்பிட்ட காற்று அழுத்தமும் வாயுவும் இருக்கும்போது, இரண்டு படகுகளுக்கு இடையில் ஒரு ஒளிர்வு வெளியேற்றம் (glow discharge) ஏற்படுகிறது. இந்த ஒளிர்வு வெளியேற்றமானது, அந்த இடத்தில் உள்ள SiH4 மற்றும் NH3 வாயுக்களைச் சிதைத்து, Si மற்றும் N அயனிகளை உருவாக்கி, அவை இணைந்து SiNx மூலக்கூறுகளை உருவாக்குகின்றன. இது படகின் மேற்பரப்பில் படிய வைக்கப்படுகிறது.சிலிக்கான் வேஃபர்பூச்சின் நோக்கத்தை அடைவதற்காக, சூரிய மின்கலத்தின் எதிரொளிப்புத் தடுப்புப் பூச்சின் தாங்கியாக, கிராஃபைட் படகின் அமைப்பும் அளவும் சிலிக்கான் தகட்டின் மாற்றத் திறனையும் உற்பத்தித் திறனையும் நேரடியாகப் பாதிக்கின்றன.
VET எனர்ஜியை ஏன் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்?
சீனாவின் முன்னணிPECVD கிராஃபைட் படகுஉற்பத்தியாளர் மற்றும் விநியோகஸ்தரான VET எனர்ஜி, பல வருட தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்குப் பிறகு, தற்போது டோயோ டான்சோ, எஸ்ஜிஎல் கார்பன், மெர்சன் ஆகியவற்றுக்கு இணையான மேம்பட்ட உற்பத்தி உபகரணங்கள், திறமையான தொழில்நுட்ப வடிவமைப்பாளர்கள் மற்றும் அனுபவம் வாய்ந்த உற்பத்திப் பணியாளர்களைக் கொண்டுள்ளது. மேலும், அனைத்துப் பொருட்களும் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட மூலப்பொருட்களே ஆகும்.
தற்போது, எங்கள் நிறுவனத்தால் தயாரிக்கப்படும் கிராஃபைட் படகுகள் உயர் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியமான கட்டமைப்பு ஆகிய பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன. மேலும், வடிவமைக்கப்பட்ட கிராஃபைட் படகுகளின் இடைவெளி பொருத்தமானதாக இருப்பதால், சிலிக்கான் வேஃபர் பூச்சு சீராக உள்ளது, சிலிக்கான் வேஃபரின் தரம் அனைத்து அம்சங்களிலும் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மற்றும் சூரிய ஆற்றல் மாற்றும் திறன் பெருமளவில் அதிகரித்துள்ளது. மிக முக்கியமாக, VET எனர்ஜி தற்போதைய சந்தைக்குத் தேவையான அனைத்து வகையான கிராஃபைட் படகுகளையும் வடிவமைத்துத் தயாரிக்க முடியும், மேலும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகளையும் ஆதரிக்கிறது, இது உங்களின் பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட PECVD கிராஃபைட் படகு தயாரிப்புத் தேவைகளை நிச்சயமாகப் பூர்த்தி செய்யும்.
பதிவிட்ட நேரம்: ஏப்ரல்-08-2021
