Material och struktur av grafitbåt
Grafitbåt är en högtemperaturprocessutrustning, som vanligtvis är tillverkad av grafitmaterial med hög renhet och behandlad med en beläggning av SiC (kiselkarbid) eller TaC (tantalkarbid) för att förbättra den totala utrustningens oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet och livslängd.
Inom industriell tillverkning,grafitbåtaranvänds vanligtvis som bärare för konventionella kiselskivor i beläggningsprocessproduktion. Strukturen har många båtar med ett visst avstånd. Det finns ett mycket smalt utrymme mellan två intilliggande båtar, och kiselskivorna är placerade på båda sidor om den tomma dörren.
Arbetsprincip för grafitbåt
Eftersom grafit, materialet i grafitbåten, har god ledningsförmåga och värmeledningsförmåga, appliceras en växelspänning mellan två intilliggande båtar för att bilda positiva och negativa elektroder. När det finns ett visst lufttryck och gas i kammaren uppstår en glimurladdning mellan de två båtarna. Glimurladdningen kan bryta ner SiH4- och NH3-gas i utrymmet, bilda Si- och N-joner och kombineras för att bilda SiNx-molekyler. Den avsätts på ytan avkiselskivaför att uppnå syftet med beläggningen. Som bärare av solcells antireflexbeläggning påverkar grafitbåtens struktur och storlek direkt omvandlingseffektiviteten och produktionseffektiviteten hos kiselskivor.
Varför välja VET Energy?
Som Kinas ledandePECVD grafitbåtTillverkare och leverantör, efter år av teknisk forskning och utveckling, har VET Energy nu avancerad produktionsutrustning jämförbar med Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, mogna tekniska konstruktörer och erfaren produktionspersonal, och allt material är importerade råvaror.
För närvarande har de grafitbåtar som produceras av vårt företag egenskaper som hög effektivitet och exakt struktur. Och avståndet mellan de designade grafitbåtarna är rimligt, så att kiselskivorbeläggningen är enhetlig, kiselskivans kvalitet förbättras i alla aspekter och solenergiomvandlingens effektivitet förbättras avsevärt. Ännu viktigare är att VET Energy kan designa och producera alla typer av grafitbåtar som krävs av den nuvarande marknaden, och stödja anpassade produkter och tekniska tjänster, vilket definitivt kan möta dina olika behov av anpassade PECVD-grafitbåtsprodukter.
Hög renhet PECVD grafitbåt för solpanel
Publiceringstid: 8 april 2021