Qual è la funzione di una barca in grafite PECVD? | VET Energy

Materiali e struttura della barca in grafite

La capsula di grafite è un'apparecchiatura per processi ad alta temperatura, solitamente realizzata in grafite ad elevata purezza e trattata con un rivestimento superficiale in SiC (carburo di silicio) o TaC (carburo di tantalio) per migliorarne la resistenza all'ossidazione, alla corrosione e la durata.

Nella produzione industriale,barche in grafiteVengono generalmente utilizzati come supporti per wafer di silicio convenzionali nei processi di rivestimento. La struttura è composta da numerose vaschette distanziate tra loro. Tra due vaschette adiacenti c'è uno spazio molto ristretto e i wafer di silicio vengono posizionati su entrambi i lati dello spazio vuoto.

Principio di funzionamento della barca in grafite

Poiché la grafite, il materiale della barca di grafite, ha una buona conduttività e conduttività termica, viene applicata una tensione CA tra due barche adiacenti per formare elettrodi positivi e negativi. Quando c'è una certa pressione dell'aria e del gas nella camera, si verifica una scarica a bagliore tra le due barche. La scarica a bagliore può decomporre il gas SiH4 e NH3 nello spazio, formare ioni Si e N e combinarsi per formare molecole SiNx che vengono depositate sulla superficie diwafer di silicioper raggiungere lo scopo del rivestimento. Come supporto del rivestimento antiriflesso delle celle solari, la struttura e le dimensioni della barchetta di grafite influenzano direttamente l'efficienza di conversione e l'efficienza produttiva del wafer di silicio.

Perché scegliere VET Energy?

In quanto leader della CinaBarca in grafite PECVDProduttore e fornitore, dopo anni di ricerca e sviluppo tecnico, VET Energy dispone ora di attrezzature di produzione all'avanguardia paragonabili a quelle di Toyo Tanso, SGL Carbon e Mersen, di progettisti tecnici esperti e di personale di produzione qualificato, e utilizza esclusivamente materie prime importate.

Attualmente, le barche in grafite prodotte dalla nostra azienda si distinguono per l'elevata efficienza e la struttura precisa. La spaziatura delle barche in grafite progettate è ottimale, garantendo un rivestimento uniforme del wafer di silicio, un miglioramento generale della qualità del wafer e un notevole incremento dell'efficienza di conversione dell'energia solare. Ancora più importante, VET Energy è in grado di progettare e produrre tutti i tipi di barche in grafite richiesti dal mercato attuale, offrendo prodotti personalizzati e servizi tecnici che soddisfano appieno le diverse esigenze di personalizzazione delle barche in grafite PECVD.

Barca in grafite PECVD ad alta purezza per pannelli solari